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Setra西特227系列纯气体压力传感器
Setra 227 型压力变送器专为高密度的模块式“Block”气体棒和面板设计，能够满足如今300 mm 工具的要求。该型号占用空间仅11/8″，能节省宝贵的空间；结构坚固，是要求*稳定性、高精度和适合在恶劣环境使用的压力测量的理想选择。
Setra西特227系列纯气体压力传感器Setra西特227系列纯气体压力传感器
Setra 227 型压力变送器专为高密度的模块式“Block”气体棒和面板设计，能够满足如今300 mm 工具的要求。该型号占用空间仅11/8″，能节省宝贵的空间；结构坚固，是要求*稳定性、高精度和适合在恶劣环境使用的压力测量的理想选择。与其他采用大体积封头腔室的产品不同，Setra 227 型压力变送器采用了易于吹扫的小型传感器腔室设计。所有接液部件均采用VIM/VAR 316L 不锈钢制造，且表面钝化抛光至5 Ra（大7 Ra），确保表面平整且耐化学腐蚀，实现无污染气体输送。
■ 泄露率低
■ VCR 接头
■ 易于吹扫的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PSI
特性
·316 L VIM/VAR 不锈钢
·表面抛光度7 Ra
·VCR 接头
·1×10-9 ATM.CC/sec 级别的氨渗漏实验
·抗电磁干扰/ 射频干扰，可防止误停机
·4-20mA 输出型获得不易燃认证，适用于潜在危险区域
·符合CE 标准要求
·符合RoHS 标准要求
应用
·11/8″“Block”气体棒和面板
·高纯度气体输送系统
·半导体过程工具
性能参数 | 物理参数 | |||
精度RSS1（恒温下） | ±0.25%FS或±1.0%读数 | 壳体 | 不锈钢 | |
非线性(加拟合直线) | ±0.15%FS | 电气连接 | 6英尺多芯电缆、卡口或9针/15针D-SUB接头 | |
迟滞 | 0.20%FS | |||
非重复性 | 0.02%FS | 压力接口 | 朝下安装的C型或W型密封 | |
温度影响2 | 通气 | 零点/量程调整装置的检修孔 | ||
温度补偿范围 | -9～65℃ | 重量 | 约184g | |
零点/满程漂移 | 1.8%(%FS/100℃) |
|
| |
电气参数(电流) | 电气参数(电压型) | |||
电路 | 2线 | 电压 | 3线(COM,OUT,EXC) | |
输出6 | 4～20mA7 | 输出4 | 0～5VDC或0.2～5.2VDC5 0～10VDC或0.2～10.2VDC5 | |
外部负载 | 0-800Ω | |||
小供电电压(VDC) | 10+0.02x(接收器附加导线电阻) | 激励 | 5V FSO(满量程输出)时为10～30VDC 10V FSO(满量程输出)时为13～30VDC | |
大供电电压(VDC) | 30+0.004x(接收器附加掉线电阻) | |||
环境参数 | 电流消耗 | ﹤8mA | ||
工作温度3 | -40℃～+85℃ | 压力介质 | ||
存放温度 | -40℃～+85℃ | 与316不锈钢兼容的气体或液体 | ||
电流输出型(订购N1选项时)工作/储存温度 | -30℃～+80℃ | 1.非线性、迟滞、非重复性的方和根 2.产品在21℃进行标定,大温度影响误差由此数据得来 3.电子元件的工作温度限制,压力介质的温度可能明显较高或较低 4.采用50KΩ负载进行标定,可在负载≥5KΩ时工作 5.零点(满量程)输出;对于5VDC输出,出厂设置在±25mV以内对于10VDC输出,出厂设置在±50mV以内 6.出厂标定时采用250Ω负载,24VDC电源 7.零点(满量程)输出：出厂设置在±0.8BmA以内 | ||
认证 | ||||
不易燃认证;适用于潜在危险区域的认证; | ||||
北美;可选ETL认证,适用于ANSI/SA-12.2.01-2011标准中列出的1类2区A、B、C、D组危险区域 | ||||
欧洲：可选用于标准EN60079-0;2012的ATEX94/9/EC2区认证或 WN60079-15:20 10 11 3G Ex nA llC T4 Gc-30℃﹤Ta﹤+80℃认证 | ||||
