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仪表网>产品库>压力仪表>压力计>气压计>Stripe CDG100Dhs 高速电容式隔膜真空计-气压计
  • Stripe CDG100Dhs 高速电容式隔膜真空计-气压计

Stripe CDG100Dhs 高速电容式隔膜真空计-气压计

参考价
面议
具体成交价以合同协议为准
  • 型号
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新时间2020-09-14
  • 厂商性质生产厂家
  • 入驻年限6
  • 实名认证已认证
  • 产品数量107
  • 人气值1365
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Stripe CDG100Dhs 高速电容式隔膜真空计-气压计 产品详情

Stripe CDG100Dhs 0.1 ...1000 托/毫巴


INFICON Stripe 高速电容式隔膜真空计目前是速、高度准确的真空仪器。响应时间不到 2
ms,配备 EtherCAT
现场总线接口,开拓了全新的应用领域。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能*提供出众的量程稳定性,而且具有的零位稳定性。Stripe 随附
INFICON 已获的*传感器屏蔽,用于保护真空计,使其免受不需要的过程副产品的影响。INFICON Stripe
使用创新的加热概念,提供冰凉的接触表面和*的速度性能,可实现的生产力提升,使其成为同类产的真空仪器。


益处

  • 高生产力 - 响应时间快于 2 ms
  • 灵活集成 - EtherCAT 现场总线
  • 使用寿命长 - 经验证的陶瓷传感器
  • 忘记重新校准 - 90ppm/年稳定性

典型应用

  • 原子层沉积
  • 高速过程控制
  • PVD、CVD、刻蚀
  • 一般高温真空应用

零件号



规格

类型1000 ... 500 Torr / mbar200 ... 1 Torr / mbar0.5 ... 0.1 Torr / mbar
精度 (1)% of reading0.20.20.4
温度效应
零点percent FS/°C0.00250.00250.005
满量程% of reading / °C0.020.020.02
压力,大kPa (absolute)400260130
分辨率percent FS0.0030.0030.003
低读数percent FS0.010.010.01
建议的低读数percent FS0.050.050.05
建议的低控制压力percent FS0.50.50.5
温度
运行(环境)°C+10 … +50+10 … +50+10 … +50
在法兰处烘烤°C≤110≤110≤110
贮存°C–20 … +85–20 … +85–20 … +85
电源电压+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗
加热时W≤16≤16≤16
运行温度W≤11≤11≤11
输出信号(模拟)V (dc)0 … +100 … +100 … +10
反应时间 (2)ms222
保护等级IP 30IP 30IP 30
标准
CE 合规EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHSEN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHSEN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 认证UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
SEMI 合规SEMI S2SEMI S2SEMI S2
电气连接D-sub, 15 pole, maleD-sub, 15 pole, maleD-sub, 15 pole, male
设定点
设定点数量2 (SP1,SP2)2 (SP1,SP2)2 (SP1,SP2)
继电器触点V (dc)A (dc)≤30≤30≤30
滞后percent FS111
诊断端口
协议USBUSBUSB
读数pressure, status, IDpressure, status, IDpressure, status, ID
设置set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, factory reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
内部容积
内部容积 1/2'' 管cm3 (in.3)4.2 (0.26)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
内部容积 DN 16 ISO KFcm3 (in.3)4.2 (0.26)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
内部容积 DN 16 CF-Rcm3 (in.3)4.2 (0.26)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
内部容积 8 VCR?cm3 (in.3)4.2 (0.26)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
重量
重量 1/2'' 管g837837837
重量 DN 16 ISO KFg852852852
重量 DN 16 CF-Rg875875875
重量 8 VCR?g897897897
EtherCAT
协议 EtherCATprotocol specialized for EtherCATprotocol specialized for EtherCATprotocol specialized for EtherCAT
通讯标准ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
节点地址Explicit Device IdentificationExplicit Device IdentificationExplicit Device Identification
物理层100BASE-Tx (IEEE 802.3)100BASE-Tx (IEEE 802.3)100BASE-Tx (IEEE 802.3)
数字功能读取pressure, status, IDpressure, status, IDpressure, status, ID
数字功能设置set points, filter, zero adjust, reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, reset, DC offset
过程数据Fixed PDO mapping and configurable PDO mappingFixed PDO mapping and configurable PDO mappingFixed PDO mapping and configurable PDO mapping
(CoE)SDO requests, responses and informationSDO requests, responses and informationSDO requests, responses and information
EtherCAT 连接器RJ45, 8-pin (socket), IN and OUTRJ45, 8-pin (socket), IN and OUTRJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
电缆shielded Ethernet CAT5e or highershielded Ethernet CAT5e or highershielded Ethernet CAT5e or higher
电缆长度m (ft.)≤100 (330)≤100 (330)≤100 (330)

(1) 非线性,迟滞,在 25 °C 环境工作温度中的可重复性,2 小时工作后无温度影响。

(2) 提高 10 … 90 % FS



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