真空压力传感器【真空度,负压测量】

PTC501Z真空压力传感器
芯片采用特殊进口材质,高稳定性压力传感器组件,经过高可靠的放大电路及温度补偿,性能更好。一般正常使用可达到10年,耐用性特别强,分辩率高,响应时间快，电路以ASIS高性能放大电路，经过数千次疲劳冲击，高，低温循环老化及精密的数字温度补偿工艺，再经过不锈钢全封焊（激光焊接）。外壳挑选上乘304,316钢材材质,经久耐用.兼容性广，机械连接口和电气连接口全部可按客户要求定制.在封装方面全是采用激光焊接,密封性好,防潮防水能力强,达到IP68标准，该产品有多种接口形式和多种引线方式,能够大限度满足客户的需要,适用于测量与控制真空压力。

PTC501Z真空压力传感器是工业实践中常用的一种压力传感器，其广泛应用于各种工业自控环境，涉及真空负压系统、抽真空泵设备、石油管道、水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、、石化、油井、电力、船舶、机床、通风管道等众多行业。

PTC501Z真空压力传感器特点：
1、无灌充液体，温补范围广,受温度影响极小真空传感器，真空发生装置检测传感器，真空负压纳米压印方法传感器
2、供电电源范围宽（10~40V）,并且不需稳压

3、不锈钢隔离膜片一体化结构，可适应恶劣环境

4、防雷击，抗电磁/射频干扰,传输距离长

5、小体积，高精度，高性价比，高稳定性,产品寿命长,经久耐用

PTC501Z真空压力传感器技术参数：
量　 程：-100KPA～-5KPA～100KPA～1000KPA～5000KPA
综合精度：0.1%FS 0.2%FS 0.25%FS 0.5％FS、1.0％FS　
输出信号：4～20mA（二线制）、0～5V、1～5V、0～10V（三线制）　
供电电压：24DCV（9～36DCV）　
介质温度：-20～85　
环境温度：常温（-20～85℃）　
负载电阻：电流输出型：大800Ω；电压输出型：大于50KΩ　
绝缘电阻：大于2000MΩ　（100VDC　
密封等级：IP65　
*稳定性能：0.1％FS／年　
振动影响：在机械振动频率20Hz～1000Hz内，输出变化小于0.1％FS　
电气接口（信号接口）：四芯屏蔽线、四芯航空接插件、紧线螺母　
机械连接（螺纹接口）：M20*1.5 M22*1.5 G1/2 NTP1/4 M16*1.5　Ｍ11*1 ZG3/8 NPT1/4 G1/8　M12*1.5 NTP3/8,等，其它螺纹可依据客户要求设计。

PTC501Z真空压力传感器尺寸图

真空压力传感器类型和原理：

一：压阻式真空压力传感器：

1：压阻式真空压力传感器是压力变送器的一种，是将需要测量的真空变量转换为可输出的标准信号，输出信号与真空变量之间有一定的函数关系，主要用于测量过程中真空参数的测量与控制。典型的二线制压阻式真空压力传感器的测量范围0 ～ 100 kPa、工作电压为12 ～ 36 V，工作电流为4 ～ 20 mA 的标准信号输出，采用V /I 转换电路且零位可自由迁移。压阻式真空压力传感器输出信号和真空度的函数关系式如公式：I = 4 + ( 20 - 4) P' 式中： P'为某一真空状态下的示值，kPa； P 为传感器的满量程值，kPa； I 为P'真空状态下对应的输出电流值，mA。通过公式可以得出某一真空传感器在测量范围内任意真空度对应的理论电流输出值，为其准确信号输出提供参考。

在对真空压力传感器校准时，由于测量误差是按照测量准确度等级划分的，典型的压阻式真空传感器测量误差和准确度间的函数关系如公式：△A = ( 20 － 4) δP式中： △A 为测量误差的上下限值； P 为此传感器的满量程值，kPa； δ 为某一真空传感器标注的准确度等级。准确度等级是传感器的主要技术指标，是一个定性的概念，通过公式 可以换算出真空传感器在某一准确度等级下的测量允许误差限，可以判断真空压力传感器标注的准确度等级是否正确，。

2：测量部件是一个装有固态压力芯片，该芯片利用半导体材料的压阻效应，在特定晶面上，采用集成电路工艺技术扩散成四个等值电阻，组成一个惠斯登电桥，使得形变与桥阻变化形成一一对应关系，当压力变化时，电桥失去平衡，输出一个与压力成正比的电信号，再由感应智能芯片进行非线性修正和温度补偿，终输出与压力成线性对应关系的标准信号。

二：场发射真空压力传感器：原理是采用MEMS加工工艺研制一种新型的基于硅尖阵列场发射原理的微型真空压力传感器。通过场发射真空压力传感器理论分析， 确立了该种传感器中硅尖场发射电流与真空度的关系。并利用干法刻蚀工艺， 在硅片上制作了高3.2μm， 曲率半径小于70nm的200 ×42硅尖阵列。保持阳极与硅尖距离为1μm的情况下， 可以观察到阳极电压为10V左右时开始有明显的场发射电流。利用硅尖阵列场发射电流大小随真空度变化而变化的现象， 研制了一种基于硅尖阵列场发射原理的场发射真空压力传感器。利用MEMS加工工艺制作出传感器样机， 并搭建测试系统测试其特性。通过实验发现，随着真空度的提高，传感器输出电流也会随之增大， 而且真空度越高输出电流越大， 分辨率、灵敏度越高。

真空压力传感器使用时注意事项：

真空压力传感器是一种常用的测量压力传感器，在很多的领域当中都有一定的应用。真空压力传感器使用注意事项例如真空压力表测量的范围、真空压力表使用温度等多种的问题。

1．真空压力传感器使用时环境温度为-40~70℃，相对湿度不大于80%，如偏离正常使用温度20℃时，须计入温度附加误差。　　

2．真空压力传感器使用时必须垂直安装，力求与测定点保持同一水平，如相差过高计入液柱所引起的附加误差，测量气体时可不必考虑。安装时将传感器壳后部防爆口阻塞，以免影响防爆性能。　　

3．真空压力传感器使用时正常使用的测量范围：在静压下不超过测量上限的3/4，在波动下不应超过测量上限的2/3。在上述两种压力情况下真空压力传感器测量低都不应低于下限的1/3，测量真空时真空部分全部使用。　　

4．使用时如遇到真空压力传感器失灵或内部机件松动、不能正常工作等故障时应进行检修，或联系生产厂家维修。　　

5．真空压力传感器使用时应避免震动和碰撞，以免损坏。真空压力传感器广泛应用与输送气体，液体的管道及容器中测量无危险，无结晶体，不凝固体及对合金不起腐蚀作用的液体，气体，蒸汽等介质的压力大小。真空压力表具有体积小，性能安全可靠，显示清晰等优点。

　　压力有两种表示方法：一种是以真空作为基准所表示的压力，称为压力；另一种是以大气压力作为基准所表示的压力，称为相对压力。由于大多数测压仪表所测得的压力都是相对压力，故相对压力也称表压力。当压力小于大气压力时，可用容器内的压力不足一个大气压的数值来表示。称为”真空度”。它们的关系如下：压力=大气压力+相对压力；真空度=大气压力—压力；我国法定的压力单位为Pa（N/㎡），称为帕斯卡，简称帕。由于此单位太小，因此常采用它的10^6倍单位MPa（兆帕）。压力真空表和真空压力传感器用于测量对钢，铜及铜合金无腐蚀作用，无爆炸危险的不结晶，不凝固的液体，气体或蒸汽介质的压力或负压。