GEMS捷迈2200/2600系列潜水式传感器GEMS捷迈2200/2600系列潜水式传感器
潜水式传感器 结合*的电子电路与*的CVD技术打造各种船用压力传感器。 目前压力传感器在船舶行业中执 行各种任务，在极其苛刻的工况 下可靠运行。从燃料箱、液压系 统储罐和溢水报警系统到舱底、 饮用水储水箱及冷却系统，船用 传感器都能*可靠地工作，应 对从泵机和阀门产生的液压峰值 到温度、机械冲击和振动等 一切工况。 压力传感器能否在各种船舶工况 下可靠精确运行的关键因素是传 感器膜片和电子封装的结构方 式。如今的传感器将*的化学气相沉积技术与ASIC电路结合在一起，实现强大的功能。这些装置 具有外形紧凑、精度高、迟滞好等特性，工作寿命超过数百万次并可高效地制成潜水版本。 在我们揭开背后隐藏的奥秘之前，不妨先认识一下这些装置的工作原理和应用。压力传感器的作用是 将压力（通常为液体或气体压力）转换为电信号以连续输出到控制系统来提供精确的压力状态，使之 可以采取相应的控制。例如，压力逐渐降低可能会触发一系列逐步升级的报警信号，从而允许控制系 统在达到终的液位前采取适当的措施，触发自动关闭。 在船舶应用中，压力传感器无处不在并经受着各种恶劣工况的考验，例如湍流液体、含杂质液体、海 水、中间液相、高温环境及高压液体。在推进单元和齿轮箱等设备中，是否使用传感器对机油、温度 和离合器压力进行监测和管理会对性能和总效率造成深远影响。 溅射薄膜技术 化学气相沉积 (CVD) 电缆 导线管 大型DIN 压力传感器内部包含一个细薄的密封传感元件（又称为膜片）与压力 介质直接接触。膜片上的应变片在压力的作用下发生压缩或拉伸形 变，产生与加载压力或真空度成比例的输出电信号。该传感器输出与 板载电子电路相连，整体置于一个紧凑、密封的不锈钢外壳之中。 溅射薄膜技术从作为一种制造工艺引入集成电路生产起发展至今已有 30多年，其原理是利用带电粒子轰击固态靶标材料释放出原子，使之 沉积在传感结构上形成薄膜，进而形成一定的传感器图案。在制造过 程中应用溅射薄膜涂层技术生产的传感器灵敏而坚固，适合与几乎所 这些装置即使在船体*存在振动的情况下仍能持续提供准确读数， 这一点在了解它们的灵敏度和测量精度后尤其令人印象深刻。压力传 感器的机械结构由多种材料制成，其输出信号特别易受海洋温度 和振动影响。不过，当前市场岭先厂家都已成功克服了这些挑战，纷 纷推出了超高性能的产品。 *传感器之所以获得成功归功于三个因素：溅射薄膜技术、化学气 相沉积 (CVD) 技术以及ASIC（特定用途集成电路）电子封装。只有将 这些机械电子技术成功地结合在一起，才能使压力传感器具备如此精 确可靠的性能。 化学气相沉积 (CVD) 技术是另一种高效的压力传感器制造方法， 所形成的产品具有精度高、迟滞性好的特点。CVD传感器使用 多晶硅沉积在不锈钢基板上，然后化学研磨出应变片图案，在晶 圆上实现大批量生产，所以也是一种经济的制造方法。晶圆然后 被切割成单个传感器梁，后者激光焊接到不锈钢加总膜片和压力 端口上，后与内部信号调节和放大电路相连。这种工艺不仅提 高元件的精度和耐受性，而且还能通过大批量生产来降低单位成 本。 有液体、油和气体直接接触，由此所带来的应用灵活性已成为压力传感器的一大优势。
