原子力显微镜
Nators自主开发SEM兼容的原子力显微镜系统可提供在SEM或FIB内进行原位三维形貌扫描和纳米压痕功能。该系统可兼容大部分SEM或FIB系统,包括桌面型SEM。
产品特点:
- 纳米级三维形貌扫描成像分辨率
- 亚纳牛力纳米压痕分辨率
- 结构紧凑、优异的SEM/FIB兼容性
- 可根据用户具体需求提供定制化解决方案
产品应用:
- AFM-SEM综合成像分析(结合AFM功能与SEM分析技术,例如EDX、EBSD)
- 纳米材料力学分析
规格参数
概述 | 技术参数 |
样品运动行程 | 10 mm |
样品定位分辨率 | 100 nm |
扫描行程 | 5 um |
扫描器运动分辨率 | 0.1 nm |
力感应范围 | +/- 100 uN |
力感应分辨率 | 0.5 nN |