产品名称：
中国光电URE-2000B型光刻机
URE-2000B型紫外光刻机主要技术特点：
该机采用i线紫外曝光光源，光学系统采用特殊的消衍射和线条陡直增强技术，采用积木错位绳眼透镜实现高均匀照明，并配备了双目双视显微镜和CCD图象对准系统（可同时使用），曝光能量高，聚光角度小，突具厚胶曝光功能，曝光设定采用微机控制，菜单界面友好，操作简便。
技术参数：
1．技术参数
◆曝光面积：110mm×110mm
◆分辨力：0.8μm（胶厚2μm的正胶）
◆对准精度：±1μm
◆*焦厚：600mm（SU8胶，用户提供检测条件）
◆曝光波长：365nm
◆光源平行度：2?
◆掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm
◆掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
◆样片尺寸：直径f15mm--f100mm(可适应非标准片或碎片)
厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)
◆照明均匀性：±3%（f100mm范围）
◆掩模相对于样片运动行程：X:±5mm; Y:±5mm;q:±6度
◆曝光能量密度：>18mW/cm
◆汞灯功率：1000W（直流）
◆曝光设定方式：定时（倒计时方式0.1s-999.9s任意设定）
◆外形尺寸：1400mm（长）?1200mm(宽)?1850mm（高）
配置：
（1）曝光头
◆ 冷光椭球镜
◆ 1000W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
◆XYZ汞灯调节台
◆光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（100个透镜）、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2
◆冷却风扇
（2）对准工件台
◆掩模样片整体运动台
◆掩模样片相对运动台
◆转动台
◆样片调平机构,自动完成
◆样片自动调焦机构
◆承片台4个（?15mm 、2英寸、3英寸、4英寸）
掩模夹4个（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）
◆掩模抽拉式上下机构
（3）对准显微镜及CCD对准系统
◆光源、电源
◆双目双视场对准显微镜主体
◆目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）
◆物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）
◆CCD
◆21英寸液晶显示器
（4）电控系统
◆汞灯触发电源(1000W直流汞灯)
◆单片机控制系统
◆控制柜桌
（5）气动系统
◆气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
◆电磁阀驱动
◆气动仪表
（6）其他附件
◆真空泵一台（无油泵）
◆空压机一台（*泵）
◆管道
（7）技术资料
◆使用维修说明书
◆显微镜使用说明书
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