微小气体质量流量计采用关键矽微机械加工技术的MS流量传感器具有测量微小、小流量的优势的MEMS气体质量流量计和流量控制器，主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。
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一、 产品概述采用关键矽微机械加工技术的MS流量传感器具有测量微小、小流量的优势的MEMS（ Microelectromechanical systems）气体质量流量计和流量控制器，主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。
该产品能替代浮子流量计、孔板流量计等流量计。其特点是可靠性高、重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应时间较快，测量精度高，无需要温度压力补偿。
二、 技术参数
2.1 测量介质：各种气体（乙炔气和混合气体除外）
2.2 流量范围：DN3 10-100ml/min
100-1000ml/min
DN4 250-2500ml/min
DN6 1000-10000ml/min
DN8 1500-15000ml/min
DN10 2500-25000ml/min
DN18 10-100SLM
注：(a)以上流量的测量介质为空气而言;
(b)以上流量的标准状态20℃，101.325kPa。
(c) 每个口径量程范围均可扩大
(d)特殊需要可联系厂家单独标定
2.3 流量测量准确度：±1.5%FS；±2.5%FS
2.4 工作温度范围：0-55℃；
2.5 工作压力范围：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa
2.6 供电电源：24VDC±10%；
2.7 输出信号：4-20mA，RS485通讯；
2.8 环境温度：0-55℃；
2.9 显示位数：瞬时流量为三位，累积流量10位。
