微小气体质量流量计 小流量气体控制器 实验专用气体质量控制器 AX10FD
一、概述
微小气体质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、***和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
二、 工作原理
AX10FD 系列气体质量流量控制器的精度、坚固性及可靠性源于我公司*的传感器探头。该密封探头由两传感元件组成──速度传感器及温度传感器，能自动校正温度及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值，然后测量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的原理计算流量。两传感器均为标准级白金电阻温度探测器（RTD）。白金RTD 丝缠绕在坚固的陶瓷芯轴上，牢固且可靠。整个传感器密封在316 不锈钢包装壳内。
三、技术参数
四、产品特点：
- 可实现小流量测试，精度高
- 低功耗便携式设计
- RS485通讯方式可实现网络集中化管理
- 实时监测瞬时流量和计算累计流量
- 密码管理，超限报警
- 友好的接口方式，实用于各种气体监测的应用场合
- 铜制管体(可选）能够用于各种气体介质测量
- 体积小，易于安装
