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中高压型质量流量计和控制器 气体质量流量计 小流量气体流量计 微小气体质量流量计 微小气体流量计
AX10FC中高压型采用全不锈钢传感器，适合于测量各种与316不锈钢兼容的气体。AX10FC采用无热漂移，无响应滞后的差压质量测量原理，可以同时显示和输出：瞬时流量、累计流量、压力、温度等。当需要控制功能时，还可以加装电磁比例调节阀和内置PID调节功能。
显示器、键盘、通讯和多变量输出均是标准配置，具有手操器/显示仪/积算仪的全部功能。通过面板操作，可以完成以下内容：气体选择、单位选择、量程设定，报警点设定，阀门状态、自动校准等。
与热式流量计不同，当用气体转换系数时，V10FC没有附加的“比热容”误差。所以，即使测量气体与出厂时的标定气体不同，也不会影响测量精度。
产品应用
产品广泛用于真空,镀膜,太阳能,半导体,石油石化,煤炭冶金,制气配气,***及各种分析仪器等。
产品特点
● 通用型，适合10Mpa以下各种气体测量
● 无热漂移，可以忽略的温移和时漂，长期稳定性0.1%F.S/年
● 准确度0.8%，量程可在100：1范围内按键设定，无需标定
● 瞬时和累计流量、压力、温度可同时显示和输出
● 无需预热，测量时无响应滞后
● 内置31种气体转换系数，无比热容附加误差，不影响精度
● 自动累计，分段累计功能
| 技术指标 | AX10FC-M/HC质量流量控制器 | AX10FC-M/HC质量流量计 |
| 量程范围 | 小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～250SLM | |
| 控制范围 | 控制器50：1 | 流量计100：1 |
| 准 确 度 | 流量：±0.8%读数±0.2%满量程 | |
| 可选±0.4%读数±0.2%满量程 | ||
| 压力：0.5%F.S 温度：±1℃ | ||
| 线 性 | ±0.5%F.S | |
| 重复精度 | ±0.2%F.S | |
| 响应时间 | 100ms | 10ms |
| 数 字 量 | RS232/485，MODBUS协议 | |
| 模 拟 量 | 0～5V、4～20mA、1～5V | |
| 供电 | 12V/24V/±15V可选 | |
| 工作温度 | 0～50℃ | |
| 工作压力 | 工作压差：0.03～0.5MPa | 工作压降：<0.01Mpa |
| 耐压 | 中压3MPa，高压10MPa | |
| 电气连接 | DB15孔 | |
| 漏 率 | 1×10-9SccsHe | |
| 温度系数 | ±0.015%F.S/℃ | |
| 底座材质 | 316L | |
| 密封材料 | 氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶 | |
| 接 头 | VCR1/4;swagelokφ6 | |
