小型工业EX5A/AR规格
工作物质 F2 ArF KrF XeCl XeF
波长nm 157 193 248 308 351
能量mJ 1.5/2.5* 14 20 12 8
峰值功率MW 0.30 2.0 2.5 1.25 0.8
平均功率W@250Hz 0.3/0.4 3.0 5.0 2.5 1.4
平均功率W@500Hz 0.5 6.0 8.0 4.0 2.5
平均功率W@1000Hz 1.0 9 14 6.0 5.0
能量mJ @2000Hz 0.7 0.9
平均功率W@2000Hz 1.0 1.4
动态气体寿命@50%能量 10E6 12E6 18E6 20E6 15E6
50%能量保存期 10天 15天 30天 >2个月 30天
脉宽ns 8-10
稳定性 <2%标准偏差
激光管寿命 50亿脉冲
光束尺寸,mm 3X 6
发散角mRad全角 1 X 2
冷却 空气/水冷
定时抖动 2ns标准偏差
重量 15kg 250/500Hz,35kg 1000/2000Hz