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  • ULVAC排气装置 齿轮泵

-- ULVAC排气装置 齿轮泵

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  • 更新时间2022-12-15
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ULVAC排气装置小型高真空排气装置VPC-050(空冷型)极限压力1
ULVAC排气装置 齿轮泵 产品详情

ULVAC排气装置



小型高真空排气装置



VPC-050(空冷型)

极限压力

1.5X10-4(使用液氮时)
7.0 X 10-4(
未使用液氮时)

排气系统

空冷油扩散泵(DPF-050)50L/sec
油旋片泵
(G-20DA)20L/min
主阀门25A蝴蝶阀

10A三向切换阀门
漏阀
真空计接口(18φ传感器用)

电源

100V1φ0.6kVA

重量

16kg

外形尺寸

346mm()×316mm()×350mm()

选购件

1.液氨冷阱
2
.粗测量真空计接口(18φ用)
3
.带法兰软管口(VF25O.D.10φ
4
.带法兰软管口(VF25O.D.15φ
5
.带法兰速装连接器(VF25,KF-25
6
.油雾过滤器(OMT-050A
7
.真空计
*
请根据用途挑选选购件

VPC-050A(空冷自动型型)

极限压力

1.5X10-4(使用液氮时)
7.0 X 10-4(
未使用液氮时)

排气系统

空冷油扩散泵(DPF-050)50L/sec
油旋片泵
(G-20DA)20L/min
主阀门25A蝴蝶阀

10A三向切换阀门
漏阀
真空计接口(18φ传感器用)

电源

100V1φ0.6kVA

重量

16kg

外形尺寸

346mm()×316mm()×350mm()

选购件

1.液氨冷阱
2
.粗测量真空计接口(18φ用)
3
.带法兰软管口(VF25O.D.10φ
4
.带法兰软管口(VF25O.D.15φ
5
.带法兰速装连接器(VF25,KF-25
6
.油雾过滤器(OMT-050A
7
.真空计
*
请根据用途挑选选购件


VPC-050



VPC-250F(空冷型)

极限压力

10-5(使用液氮时)
10-4(
未使用液氮时)

排气系统

空冷油扩散泵(DPF-050)200L/sec
油旋片泵
(G-100D)100L/min
主阀门25A蝴蝶阀

20A三向切换阀门
漏阀(气体导入兼用)
真空计接口(18φ传感器用)

电源

100V1φ1.35kVA

重量

50kg

外形尺寸

530mm()×480mm()×735mm()

选购件

1.液氨冷阱
2
.油雾过滤器(OMT-100A
3
.排气口过滤器(OMI-100
4
.真空计
*
请根据用途挑选选购件

VPC-400(水冷型)

极限压力

1.5X10-5(使用液氮时)
7.0 X 10-4(
未使用液氮时)

排气系统

空冷油扩散泵(3英吋)400L/sec
油旋片泵(GLD-201A
200L/min
主阀门25A蝴蝶阀

20A三向切换阀门(粗抽、辅助抽切换用)
漏阀(气体导入兼用)
真空计接口(18φ传感器用)

电源

200V3φ1.36kVA

所要水量

2L/min

重量

16kg

外形尺寸

530mm()×480mm()×780mm()

选购件

1.液氨冷阱
2
.油雾过滤器
3
.排气口过滤器
4
.真空计
*
请根据用途挑选选购件


VPC-250F



涡轮分子泵小型高真空排气装置



VPT-050

极限压力

1.3X10-4

排气系统

涡轮分子泵50L/sec
油旋片真空泵
GVD-050A
50L/min,代防返油阀)

主阀门(插板阀)65A
真空计接口(18φ传感器用2
)
放气用阀门(气体导入兼用 1
)
  SS角钢制 喷漆处理

主开关TMPPowerSupply
R.P.油泵用开关

电源

100V1φ0.75kVA

重量

45kg

外形尺寸

325mm()×450mm()×700mm()

选购件

1.油雾过滤器
2
.各种真空计
*
请根据用途挑选选购件

*可选涡旋型干式真空泵情闻讯。

VPT-050




VPT-030(干式)

极限压力

10-4

排气系统

25L/sec

前级泵

7L/min膜片泵

启动时间

1 min

冷却方式

空冷

环境温度

5-35℃

吸气口

KF-40

电源

100Vφ0.46kVA

外形尺寸

254mm()×319mm()×300mm()

重量

16kg

VPT-030




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