ELORA-100/ELORA-200/ELORA-500 ULVAC有机膜蒸发实验装置齿轮泵-仪表网

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ULVAC有机膜蒸发实验装置ELORA-100(有机膜用)极限压力8

ULVAC有机膜蒸发实验装置齿轮泵产品详情

ULVAC有机膜蒸发实验装置

ELORA-100(有机膜用)

极限压力	8.0 X10^-2(未使用液氨时)
真空室	供给连接系统预留16个接口+钟罩
基板电极	4点式(2点切换+2点切换)
蒸发电源	DC10V-40A、400W・２式(数字表示)
膜厚监测器	水晶振动式膜厚控制器 CRTM-9000
真空泵	皮拉尼真空计GP-1S、电离真空计GI-TL3
排气系统	涡轮分子泵 300L/s（UTM-300) 油旋片真空泵 200L/min（GLD-201A）
本体尺寸 (mm)	530�(长)×480(宽)×1180(高）
重量	80kg(主机)
电力	1φ 100V1.6kVA、 3φ 200V 1.2kVA
选购件	改变电极构成、温度监测器(基板、蒸发盘)、改变真空计、挡板、改变排气系统真空泵(涡旋型干泵、油扩散泵、低温泵)、其它

ELORA-200(电极膜用)

极限压力	4.0 X10^-4(未使用液氨时)
真空室	供给连接系统预留16个接口+钟罩
基板电极	２点切换式
蒸发电源	AC10V-150A、1.5kW・　１式（仿真表示）
膜厚监测器	水晶振动式膜厚控制器 CRTM-6000
真空泵	皮拉尼真空计GP-1S、电离真空计GI-TL3
排气系统	涡轮分子泵 300L/s（UTM-300) 油旋片真空泵 200L/min（GLD-201A）
本体尺寸 (mm)	530�(长)×480(宽)×1180(高）
重量	80kg(主机)
电力	1φ 100V0.8kVA、 3φ 200V 1.2kVA、 1φ 200V 2.0kVA
选购件	改变电极构成、温度监测器(基板、蒸发盘)、改变真空计、挡板、改变排气系统真空泵(涡旋型干泵、油扩散泵、低温泵)、其它

ELORA-500(蒸发室+准备室)

极限压力	4.0 X10^-4(未使用液氨时)
真空室	真空室带准备室的2室、带水平传送机构
基板电极	电阻加热式蒸发源、标准8点(有机膜6点、金属膜2点) T/S间距离、250-300mm
蒸发电源	有机膜用:DC400W、2个金属膜用:AC1、5KW、1个
真空泵	蒸发室:电离真空计 GI-TL3、皮拉尼真空计GP-1S 准备室:涡旋型干式泵90L/min
排气系统	蒸发室:TMP(600L/s)+涡旋型干式真空泵250L/min 准备室:涡旋型干式真空90L/min
本体尺寸 (mm)	1620(长)×650(宽)×1550(高） (控制盘)
重量	400kg(本体)、150Kg(控制盘)
电力	1φ 100V、3kVA、 3φ 200V 、3kVA、(50/60Hz)
特别规格	蒸发室(有机膜、金属膜分分割):真空3室(蒸发室2室+准备室)、基板、蒸发盘的温度测定器、追加基板收纳器、气体导入、真空排气系统变更、可动面罩、其它

关键词：真空泵标准

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