功能
- 提供有单层和多层型号
- ModeLock 技术可避免跳模引起的薄膜厚度误差
- 支持 Crystal 12®、Crystal Six® 和双传感器自动晶体转换，从而生产力
- XTC/3M 多层型号最多支持 99 个过程、999 层薄膜、32 种薄膜材料、2 个传感器和两种源
- XTC/3S 单层型号最多支持 9 种薄膜、2 个传感器和两种源
- 易于阅读的 TFT LCD 图形显示器
- 可以为薄膜和过程分配的描述性名称，以便于检索
- 提供以太网连接
- 独立式（不需要计算机）或便于 PC 操作的可选 Windows® 软件
- 插拔式替换 INFICON XTC/2 控制器（受限于 XTC/2 功能和命令集）
典型应用
- 光学镀膜
新闻
XTC/3 前面板已根据 INFICON公司的新标准进行重新设计。
规格
| 类型 | XTC3/S | XTC3/M | |
|---|---|---|---|
| 频率分辨率 | ±0.028 Hz @ 6 MHz | ±0.028 Hz @ 6 MHz | |
| 测量频率范围 | 6.0 to 5.0 MHz (fixed) | 6.0 to 5.0 MHz (fixed) | |
| 测量周期 | 0.25 seconds | 0.25 seconds | |
| 厚度和速率分辨率/测量 (1) | ±0.034 Å | ±0.034 Å | |
| 测量技术 | ModeLock | ModeLock | |
| 过程数量 | 1 | 99 | |
| 层数 | 1 | 999 | |
| 材料计划（或薄膜）数量 | 9 | 32 | |
| 传感器输入数量 | 2 | 2 | |
| CrystalSix / Crystal 12 传感器支持 | Yes | Yes | |
| 支持 XTAL 2 开关 | Yes | Yes | |
| 来源输出数量 | 2 | 2 | |
| 计算机通信 | RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional | RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional | |
| RS232 波特率 | 115.2 KBaud | 115.2 KBaud | |
| 自动晶体转换 | Yes | Yes | |
| 继电器数量 | 12, Not Event Assignable | 12, Event Assignable | |
| 可编程继电器功能数量 | 1 | 1 | |
| 每个继电器的功能 | 1 | 1 | |
| 继电器额定电压 | 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps | 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps | |
| 输入数量 | 8 TTL, 24VDC Max | 8 TTL, 24VDC Max | |
| 可编程输入功能数量 | 1, Not Event Assignable | 1, Event Assignable | |
| 记录器输出数量 | 1 | 1 | |
| 手动电源 / 手持控制器 | Yes | Yes | |
| 排气管风扇 | No Exhaust Fan | No Exhaust Fan | |
| 测试模式 | Yes | Yes | |
| 闸门延迟 | Yes | Yes | |
| 二次成型模具 | Yes | Yes | |
| 外壳尺寸 | half rack, 2U high | half rack, 2U high | |
| 速率和厚度显示分辨率 | 0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A | ||
INFICON XTC/3膜厚仪
