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  • INFICON MPS 残余气体分析仪 氦质谱检漏仪

INFICON MPS 残余气体分析仪 氦质谱检漏仪

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  • 型号
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  • 更新时间2023-06-12
  • 厂商性质其他
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INFICON MPS 残余气体分析仪 氦质谱检漏仪 产品详情

功能

  • 双丝极
  • 可现场更换电子倍增器
  • 可现场更换阳极、阴极和反射极丝极组件
  • 可调换传感器和电子元件
  • TCP/IP 以太网连接
  • 较短的传感器可降低安装占地面积
  • 九个数量级的动态量程
  • 模拟扫描和所选峰值的 3 ms 每点数据率
  • <1.5E-14 Torr 的 MDPP
  • 传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装
  • 符合 RoHS 标准

规格

类型MPS100FMPS100MMPS200FMPS200M
传感器长度14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm
质量范围100 amu 100 amu 200 amu 200 amu
检测器类型FC EM FC EM
灵敏度 (FC)3E-4 amps/Torr 3E-4 amps/Torr 3E-4 amps/Torr 3E-4 amps/Torr
灵敏度 (EM)NA 500 amps/Torr NA 500 amps/Torr
最小可检测分压2.6E-12 Torr 1.5E-14 Torr 2.6E-12 Torr 1.5E-14 Torr
传感器工作温度(FC)200 °C NA 200 °C NA
传感器工作温度(EM)NA 150 °C NA 150 °C
丝极类型选件Dual Y2O3/Ir filaments Dual Y2O3/Ir filaments Dual Y2O3/Ir filaments Dual Y2O3/Ir filaments
分辨率 (1)<1 amu Wide <1 amu Wide <1 amu Wide <1 amu Wide
温度系数 (2)<1% per °C <1% per °C <1% per °C <1% per °C
每点数据率3 ms 3 ms 3 ms 3 ms
零冲击(位于质量 2)<100 ppm <100 ppm <100 ppm <100 ppm
工作压力5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr
烘烤温度300 °C 300 °C 300 °C 300 °C
功率输入20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC

(1) 位于峰值高度的 10%

(2) 时长 8 小时,半小时预热时间;仅适用于 FC 模式

INFICON MPS 残余气体分析仪     
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