气体质量流量控制器/流量计SENSUN：热式气体质量流量控制器在各种等离子设备中广泛使用，松盛测控生产和销售的热式气体质量流量计的主要作用是准确的控制和调节气体的进气流量，等离子设备中需要注入和填充的混合气体，以保证更好的产品性能，就需要更高精度和稳定性好的流量控制器。
气体质量流量控制器/流量计SENSUN：热式气体质量流量控制器和流量计的优点很多，举几个常接触到的例子：1.对于大多数的流量测控系统和普通流量计而言，压力、环境、温度的波动以及介质的变化将导致较大的误差；而对于质量流量控制器/质量流量计，则一般可以忽略不计。2.热式气体质量流量控制器可以对于不同介质精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量比例控制等特别有用。3.质量流量控制器和质量流量计也有很宽的工作压力范围。
推出的流量控制器和流量计可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质，如常规气体氢气、氧气氮气等，稀有气体氦气、氩气等，也包括一些腐蚀性气体等；有很宽的流量范围，我们的产品最小流量范围可达0～5 sccm，流量范围可达1500 slm。流量精度可达满量程的±1.0%, 流量控制范围是满量程的2~ (量程比为-- 50:1), 因此在很多领域得到广泛应用。
