气体质量流量控制器（Mass Flow Controller，以下简称MFC）可对气体的质量流量进行精密测量和控制；气体质量流量计（Mass Flow Meter，以下简称MFM）可对气体的质量流量进行精密测量。本产品应用的行业主要有：化学工业、石化工业、LNG工业、半导体材料和微电子工业、医药工业、特种材料研究、环保和真空行业等。使用本产品的设备主要有：真空镀膜设备、混气配气设备、光纤熔炼设备、晶体制备设备、微电子设备、微反应装置、气相色谱仪及其它分析仪器等。
特点：
★ 稳定可靠、响应时间短、标定精度和重复精度高
★安装方便，无安装位置和直管段要求，操作简单
★可配合流量显示仪或其他显示仪表使用，也可通过模拟/数字信号转换器（AD/DA转换器）配合计算机使用
技术参数：
基本型号 | C51 气体质量流量控制器 | C51M 气体质量流量计 |
流量规格1(N2标定) | 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM | |
0～1,2,3,5,10,20,30 SLM | ||
调节阀类型 | 常闭式 | 无 |
量程比 | (2～100)％F.S. 或50:1 | |
流量分辨率 | 0.1％F.S. | |
准确度 | ±1％F.S. (≤15SLM) | |
±2％F.S. (＞15SLM) | ||
线性 | ±0.5％F.S. (≤15SLM) | |
±2％F.S. (＞15SLM) | ||
重复精度 | ±0.2％F.S. | |
响应时间 | ≤1sec | ≤1sec |
工作压差范围 | 0.1～0.5MPa (≤10SLM) | 0.02MPa～3MPa |
0.1～0.3MPa (＞10SLM) | ||
耐压 | 3MPa | |
工作环境温度 | 5～45℃ | |
电缆接头 | DB15pin(针形) | |
输入输出信号 | 4～20mA或0～+5.00V (输入阻抗大于100kΩ，输出电流不大于3mA) | 4～20mA或0～+5.00V (无输入信号，输出电流不大于3mA) |
供电电源要求 | +24VDC(≥300mA) | +24VDC(≥150mA) |
对外单点泄漏率 | ≤1×10-9Pa·m3/S(He) | |
介质接触材质 | 316，316L，密封填料 | |
密封材料 | 丁腈橡胶NBR，三元乙丙橡胶EPDM，氯丁橡胶CR，硅橡胶VMQ, | |
管道接头尺寸 | VCR型接头：1/4” | |
双卡套型接头：1/8”、1/4”、3/8”或φ3、φ6、φ8、φ10 mm | ||
外形尺寸 | 长×宽×高：127×30×122 mm | |
净重量 | 0.9kg | 0.75kg |
