该仪器是检测模具、封装或PC板水平上所//有类型静态缺陷(短路、泄漏、高电阻开启和断路开启)的很好的工具。该仪器结合了两个传感器的功能,实现了很好的灵敏度和亚微米的分辨率的统一。这允许单个系统可以处理任//何类型的设备和任//何类型的静态缺陷。
应用
1.解决了所//有的静态缺陷:短路、泄漏和断路。
2.三维缺陷定位计算样本表面到当前路径的距离,当直流电迹可用时,新的软件能够在所//有三维重建当前路径。
3.由于磁场渗透所//有材料,SQUID 传感器可以很自然的发现封装短路故障。
4.使用大于500nm空间分辨率的HiRes传感器定位模具短路。磁场分辨率不受波长的限制,只受传感器尺寸和扫描距离的限制。
5.在500nA电流灵敏度下,可以发现ω电阻的泄漏。
6.使用SDR技术,在检测电流产生的射频磁场时,应用高频信号(20MHz至200MHz),可以发现故障。