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X射线半导体计量系统

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  • 更新时间2021-11-24
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在专业、敬业、拼搏的理念指导下,不断进取学习,时刻关注域科学的发展和创新,北京众星联恒科技有限公司致力于引进的X射线产品、及新孵化*产品给中国的同步辐射,研究所,高校及制造业的客户。

       我司是德国INCOATEC公司、美国XOS(光学组件)、德国X-SPECTRUM、德国GREATEYES、德国Microworks、捷克ADVACAM、及英国MSI辉光放电质谱仪的中国区总代理,产品线包含X射线源、X射线光学元件、X射线探测器、X射线系统、OPCPA飞秒激光器和辉光光放电质谱仪等。我司同时致力于给客户提供x射线解决方案,并于2016年推出了具有自主知识产权的桌面超快X射线诊断装置,具有超微、超亮、高信噪比和高稳定性的特点,在物质超快过程研究、精细分辨成像等方面具有重要的应用价值。 

 

       我们坚持以客户需求为导向,以专业、专注为根本,以高效服务为核心,紧密跟进学科的发展,努力从客户处学习并丰富完善自己的技术储备,解决客户的实际需求,以前沿技术驱动的创新获取公司发展的空间,逐步成长为优秀的X射线领域及的材料分析系统方案提供商。

       我们敬畏知识不断进步所带来的变化和革新,坚信:高品质的产品及优质的服务是获得客户认可的标准!

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X射线半导体计量系统
X射线半导体计量系统 产品详情

公司介绍

德国Sirius公司成立于2015年,是一家材料科学和半导体行业X射线分析解决方案的提供商。作为一家独立的仪器集成商,Sirius不仅向同步辐射用户提供薄膜,表面和原位表征的完整实验室解决方案,还提供X射线半导体计量解决方案以及X射线衍射分析服务。

产品介绍

X射线半导体计量分析系统

专门用于研发实验室或中试线的X射线半导体计量学实验室设备,特别是化合物半导体,MEMS,高功率器件和后端工艺。

-通过XRR, HRXRD和RSM, GID,晶圆Mapping进行薄膜计量。

-样品台可支持大至200mm的晶圆或200mm x 200mm的刚性/柔性样品。

-自动化测量和分析。

-的专有分析和测量软件。

-设备尺寸:1.2m x 1.3m x 2.1m



1. X射线反射率

X射线反射率测量是基于从薄膜表面散射的X射线与多层堆叠子层之间不同界面的相长干涉测量来实现的。使用专有的Sirius-XRR软件分析程序来测量和拟合XRR曲线,可以确定:

  • 薄膜和多层膜的层厚

  • 层间和界面粗糙度

  • 表面密度梯度和层密度

  • 界面结构

  • 整个晶圆的层/膜均匀性


技术指标

  • 最小厚度: ~1.5nm

  • 厚度: ~300nm

  • 厚度分辨率:约为测量厚度的1%

  • 横向分辨率(最小光斑尺寸~1cm)

北京众星联恒科技有限公司

案例:硅衬底上的Al2O3/InGaAs薄膜


2. 高分辨XRD

高分辨率X射线衍射(HRXRD)常用于外延薄膜和多层膜的表征和工艺研发,如:SiGe,SOI,Si基外延GaN,光子学材料,通常的III / V族半导体,外延复合氧化物等。对于这些材料的表征,会使用不同的HRXRD技术:

北京众星联恒科技有限公司

案例:外延层的摇摆曲线

北京众星联恒科技有限公司

案例: GaN多层结构的θ/2θ扫描


3. 倒易空间扫描

二维倒易空间扫描,主要用于通过测量和分析互易空间的面积来快速确定三维结构参数。

北京众星联恒科技有限公司


4. 面内掠入射测量

面内掠入射衍射是一种用于快速确定超薄外延膜的面内晶格参数,相对于基板的层结构配准,以及横向结晶膜质量的技术。

北京众星联恒科技有限公司


5. 掠入射粉末衍射和薄多晶层的物相鉴定

掠射入射下的X射线衍射可降低入射X射线的穿透深度,因此可排除部分来自基板的信号,以实现纳米薄膜测量。


6. 半导体晶圆扫描

可在没有洁净室的研发环境中,实现直径达200mm的晶圆均匀性(成分,厚度,应变)扫描。



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