在线面扫和单点检测
应用范围：灵活的OEM设备，用于多种不同样品的在线寿命测量：从单晶硅到多晶硅锭，从生成态晶圆片到不同镀层或金属化晶圆的过程控制。标准软件接口，易于连接到许多处理或自动化系统。
MDPlinescan是一个易于集成的OEM单元，可集成到各种自动化的检测线。关键的测量参数是实时的载流子寿命扫描。
样品通常由测量头下的传送带或机器人系统来输送。应用实例从晶锭到晶圆的检测，每个晶圆的测量速度小于一秒。
电池生产线上的来料质量检查是的一种应用方向，同样，钝化和扩散后的工艺质量检查也能用到此款产品。
还有许多其他的专门应用可能性。由于其易于集成，只需要以太网连接和电源。
产品介绍
- 各种不同的样品，从单晶硅到多晶硅，从生长的晶片到加工过的晶片，都可以通过MDPlinescan使用少子寿命测量进行检测。
- MDPlinescan是一个易于集成的OEM单元，可集成到各种自动化的检测线。关键的测量参数是实时的载流子寿命扫描。
- 样品通常由测量头下的传送带或机器人系统来输送。应用实例从晶锭到晶圆的检测，每个晶圆的测量速度小于一秒。
- 该仪器有许多专门应用可能性。由于其易于集成，只需要以太网连接和电源即可。例如，电池生产线上的来料质量检查是其的一种应用方向，同样，钝化和扩散后的工艺质量检查也能用到此款产品。
特性
- 允许单片调查
- 配方的基础测量
- 监控材料质量、工艺的完整性和稳定性
优势
- 在µ-PCD或稳态激发条件下测量少数载流子寿命和电阻率是这个工具的重点。
- 用于集成在生产线的多晶或单晶硅晶圆,包括材料制备，和各种工艺处理阶段。
- 小尺寸和标准的自动化接口使集成变得容易。优势是长时间的可靠性和测量结果的高精度。
技术参数
样品种类 | 多晶或单晶晶元片， 晶锭，晶胞 |
样品尺寸 | 大约50 x 50 mm² |
电阻率 | 0.2 - 10³ Ohm cm |
电导类型 | p, n |
材质 | 硅晶圆，部分或*加工晶圆，化合物半导体等 |
测量属性 | 载流子的少子寿命 |
硬件接口 | ethernet |
大小 | 174 x 107 x 205 mm, 重量: 3 kg |
电源 | 24 V DC, 2 A |
