质量流量控制器 SFC5500
款通过线上渠道销售的质量流量控制器
SFC5500 质量流量控制器系列体现了 Sensirion 在精确控制气体流量方面长达 20 年的深厚积淀。此传感器基于微热测量原理,并采用了 Sensirion 成熟的 CMOSens® MEMS 技术。这使得我们能够打造兼具性能与可靠性的全新质量流量控制器,而且与市场上大多数其它器件不同的是,这款控制器零漂移,也不需要在使用中重新校准。
凭借 CMOSens® MEMS 流量传感器的*控制范围,SFC5500 系列的单个器件即可覆盖传统质量流量控制器的多个流量范围。SFC5500 系列配有多气体校准功能与可更换配件,是市面上款适合广泛应用的标准现货供应质量流量控制器。由于这种多功能性,SFC5500 系列也成为了款通过线上分销商销售的质量流量控制器。
SFC5500 系列扩充了 Sensirion 的质量流量控制器家族 SFC5xxx。SFC5500 具有与 SFC5400 相同的性能,因而广泛适用于医疗、分析仪器和工业领域中的应用。不过,SFC5500 系列质量流量控制器提供了多种标准预配置版本,这一点与高度可配置的 SFC5400 系列有所不同。对于其它气体、流量范围、配件和接口,请查看 SFC5400 或 Sensirion 可靠的 OEM 解决方案——SFC5300。
SFC5500 系列数字质量流量控制器
SFC550-0.5slm:流量范围:0.5 至 0.0005 slm
SFC5500-10slm:流量范围:10 至 0.01 slm
SFC5500-200slm:流量范围:200 至 0.2 slm
性能参数
- 出色的精度和可重复性(分别为设定点的 0.8%/0.1%)
- 超宽的控制范围(优于 1000:1)
- 超短响应时间(100 ms 以内)
- G ¼″ 法兰广泛兼容各类接口:例如 Swagelok、Legris、Festo
- 针对多种气体进行了校准
- 带温度补偿输出的数字接口
- NIST 可追溯式校准
- 平均故障间隔时间 (MTBF) 169 年
- 零漂移,也不需要在现场重新校准
应用
- 分析仪器(如气相色谱分析、质谱分析和热分析)
- 生物反应器中的流量控制
- 科研(如或)
- 过程控制和工业自动化(如涂层、热处理)
- 化工、塑料和玻璃工业
- 半导体工业(如等离子体刻蚀工艺、薄膜沉积)
- 气体混合

下载中心
您可以从这里下载有关Sensiron气体质量流量控制器的文件。
传感器评估
为了快速轻松地进行测试,我们提供了现成的评估套件。搭配所提供的软件,传感器可与 PC 建立即插即用连接。您可通过我们的分销商订购 EK-F5x 评估套件。(质量流量控制器需单独购买)。为快速上手 Sensirion 评估套件,我们提供了相应的快速入门指南和技术指导视频。
Mass Flow Controllers SFC5500: Introduction and Quick Start Guide
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