质量流量控制器 SFC5300
优化了成本，尺寸紧凑的控制器（可大批量生产）
SFC5300质量流量控制器以优异的精度、长期稳定性和可重复性测量和控制质量流量。它拥有紧凑的尺寸和出色的动态测量范围。SFC5300的外壳由金属制成。SFC5300质量流量控制器向下安装连接，有两个数字接口。SFC5300是SFC5400质量流量控制器变形版，适用成本敏感的大批量OEM项目。
与所有Sensirion传感器一样，SFC5300质量流量计的突出表现依赖创新的CMOSens® 技术，在一个CMOS硅芯片上集成了高精度传感器技术与电子处理电路。配合优质材料，SFC5300可实现持久稳定、快速和高度精确的流量测量。
SFC5300质量流量控制器也提供无阀版本SFM5300。SFC5300和SFM5300具有相同性能特性，可理想地组合在类似应用当中。在SFM5300网站，您可以找到关于质量流量计的更多信息和详细规格。
对于大批量的项目，我们可根据您的具体要求调整或开发您需要的质量流量控制器。了解更多关于定制解决方案信息。
性能参数
- 超低流量测量时的高精度（＜ 1sccm）
- 出色的长期稳定性和可靠性
- 无老化效应
- 宽动态范围（量程比1000:1）
- 多气体配置
- 于CMOSens®技术的*性价比
- 尺寸紧凑
应用
- 分析仪器 （如气相色谱、质谱、热分析）
- 科研 （如、）
- 工业过程自动化 （如涂覆、热处理）
- 半导体行业 （如等离子蚀刻工艺、薄膜沉积）
下载中心
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