性能/参数 | LLF4系列质量流量计 |
流量范围 | 0.5SCCM-5000SLPM 可自行修改流量单位如kg/h、g/min等 |
标定气体 | 内置130条气体可选择 含腐蚀气体(如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等) |
精度(调零后) | ±(0.8%Rd+0.2%FS) |
高精度(调零后) | ±(0.4%Rd+0.2%FS)限于5SCCM-500SLPM |
重复性 | ±0.2%FS |
漂移(零点/满量程) | 0.02% F.S/ºC/Atm |
工作范围 | 0.5-99% |
响应时间 | 10毫秒(调整) |
启动预热时间 | 1秒内 |
标准工况 | 25ºC & 14.696 psia，可自定义修改 |
工作温度范围 | -10~-50℃(另有高温订制品) |
工作湿度范围 | 0-99%RH(非冷凝) |
工作压力 | 10Bar |
压差 | 5Bar |
安装方向 | 任意 |
阀门状态 | 常闭 |
材质 | SUS316L不锈钢、密封圈FFKM(Kalrez) |
显示屏 | 背光LCD显示屏，同时显示流量、压力、温度 |
数字信号 | 标准RS232 选配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet 以太网RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP) |
模拟信号 | 标准0-5V/1-5V/0-10V 选配:4-20mA |
第二路模拟信号 | 标准0-5V/1-5V/0-10V 选配:4-20mA |
电气接口 | 标准圆形8芯 选配:圆形6芯、DB9、DB15 |
供电电压 | +24VDC |
消耗电流 | 100mA |
针脚/颜色 | 定义 |
1针(黑色) | 4-20MA输出信号，如选择0-5V/10V 连接6针 |
2针(棕色) | 不用连接如选第二路 输出信号可接 |
3针(红色) | RS232 输入串口RS232 输入串口 |
4针(橘色) | 远程清零 |
5针(黄色) | RS232 输出串口 |
6针(绿色) | 0-5V或0-10V输出信号 |
7针(蓝色) | +24VDC供电 |
8针(紫色) | 接地(同时作用于电源、通讯、模拟) |
备注：以上是标配圆新8芯接线注解，其他接口
流量 | 压损(PSID)排放大气中 | 接口 |
0.5-1SCCM | 1.0 |
1/8NPT母螺纹 |
2-50SCCM | 1.0 | |
100SCCM-20SLPM | 1.0 | |
50SLPM | 2.0 | 1/4NPT母螺纹 |
100SLPM | 2.5 | |
250SLPM | 2.1 | 1/2NPT母螺纹 |
500SLPM | 4.0 |
3/4NPT母螺纹 |
1000SLPM | 6.0 | |
1500SLPM | 9.0 | |
2000SLPM | 5.0 | |
3000SLPM | 7.1 | 1-1/4NPT母螺纹 |
4000SLPM | 2.7 | 2”NPT母螺纹 |
500SLPM | 3.4 |
