◆功能：
主要针对wafer上每Die逐片点灯以进行 光学性能，电气性能 AOI检测
◆规格：
wafer Probe： 支持100mm/125mm/150mm/200mm Wafer
Cassette Loader，支持 Wafer自动上下料
客制化Prober Card，支持单通道&多通道测试
搭载151M光学光谱仪镜头 ，支持8K分辨率，支持最小子像素0.8um
支持色度亮度测试
主动防震台支持VC-D/F等级
支持CIM&MES系统整合
◆特点:
·晶圆光学测试系统，8&12inch各种材质晶圆;
·自动三轴运动控制;
·Wafer上下料，自动对位，自动测试;
·多功能夹具，支持8”&12”探针卡;
·多仪器搭载，支持AOI与光学测试。
| 项目 | 规格 |
| 尺寸 | 长*宽高2.84m*1.90m*2.40m |
| 测试样品大小 | 8”&12" wafer |
| 光谱仪 | CS-2000ASR-UL2/PR788/SR3 |
| 相机 | 4300万,高分辨率CCD |
| 运动系统 | 采用高精度伺服电机,高精度滚珠螺杆 |
| 功能 | 色度、亮度、均匀性、光谱测试等;支持:点、线面缺陷测试, mura测试 |
| 信号 | 支持特仪自制信号机以及市面通用品牌信号机,支持客制化信号,信号格式 TTL/LVDS/MIPI/HDMI/edp/2K&4K&8K等 |
| 电源 | 支持高精度多路直流电源输出,以及客制化电源需求 |
| 软件 | 特仪自主开发之软件,全中文版,C#编程模块化,操作简单, UI界面可依据客 户需求进行定制,软件自带各标准测试手法,可以通过直接调用模式进行测试 |
