电容位移传感器探头
（标准规格的电容探头以达到纳米级别的分辨率并且有非常好的稳定性）
电容位移传感器的应用
显微镜聚焦 „镜头的对准 „测量零件的外形 „测量零件的倾斜 „测量半导体硅片的厚度 „测量压电平台的位移 „测量振动 „测量电脑硬盘运行和厚度 „测量刹车盘的翘曲和厚度 „测量金属板的厚度 „测量光伏晶圆
MTI 标准探头的特点 ● 电缆和探头使用的的温度范围: -130ºC -- 200ºC (也有高温探头，在下一页有介绍) ● 精度: 高于满量程的±0.02% （当探头和放大器经过和被测物校准后） ● 标准放大器滤波带宽: 500Hz ● 可选滤波带宽 10Hz, 100Hz, 1kHz, 2kHz, 5kHz 以及 660Hz-Bessel ● 1分辨率 RMS: (0.000423 x 滤波带宽 Hz + 1.2) x 0.00002 x 量程 ● 承受压力范围: 14MPa- (不适用于高温探头) ● 带线缆的探头，同轴电缆长度: 2.4m (可选延长线缆.) 型号 ASP-1-ILR 量程 2扩展量程 感度 感测直径E 探头直径D 探头长度L 最小范围 µm 25.4 10 µm/V 2.54 mm 1.09 mm 2.36 mm 9.53 µm 1.270 ASP-2-ILR 50.8 10 5.08 1.55 2.84 9.53 2.540 ASP-5-ILR 127.0 10 12.70 2.49 3.96 9.53 6.350 ASP-10-ILR 254.0 10 25.40 3.53 5.54 9.53 12.700 ASP-20-ILR 508.0 4 50.80 5.00 7.92 9.53 25.400 ASP-50-ILR 1270.0 3 127.00 7.98 13.87 9.53 63.500 ASP-100-ILR 2540.0 2 254.00 11.25 25.40 9.53 127.000 ASP-200-ILR 5080.0 2 508.00 15.93 38.10 9.53 254.000 型号 ASP-25M-CTR 量程 2扩展范围 感度 感测直径E 探头直径D 探头长度L 最小范围 µm 25.4 10 µm/V 2.54 mm 1.09 mm 9.53 mm 25.40 µm 1.270 ASP-50M-CTR 50.8 10 5.08 1.55 9.53 25.40 2.540 ASP-125M-CTR 127.0 10 12.70 2.49 9.53 25.40 6.350 ASP-250M-CTR 254.0 10 25.40 3.53 9.53 25.40 12.700 ASP-500M-CTR 508.0 4 50.80 5.00 11.13 25.40 25.400 ASP-1250M-CTR 1270.0 3 127.00 7.98 15.88 25.40 63.500 ASP-2500M-CTR 2540.0 2 254.00 11.25 25.40 25.40 127.000 产品型号 ASP-1-ILA 量程 2扩展范围 感度 感测直径E 探头直径D 探头长度L 最小范围 µm 25.4 10 µm/V 2.54 mm 1.09 mm 2.36 mm 9.53 µm 1.270 ASP-2-ILA 50.8 10 5.08 1.55 2.84 9.53 2.540 ASP-5-ILA 127.0 10 12.70 2.49 3.96 9.53 6.350 ASP-10-ILA 254.0 10 25.40 3.53 5.54 9.53 12.700 ASP-20-ILA 508.0 4 50.80 5.00 7.92 9.53 25.400 ASP-50-ILA 1270.0 3 127.00 7.98 13.87 9.53 63.500 ASP-100-ILA 2540.0 2 254.00 11.25 25.40 9.53 127.000 ASP-200-ILA 5080.0 2 508.00 15.93 38.10 9.53 254.000 型号 ASP-0.5-CTA 量程 2扩展范围 感度 感测直径E 探头直径D 探头长度L 最小范围 µm 12.7 20 µm/V 1.27 mm 0.74 mm 6.35 mm 63.50 µm 0.635 ASP-25M-CTA 25.4 10 2.54 1.09 6.35 63.50 1.270 ASP-50M-CTA 50.8 10 5.08 1.55 6.35 63.50 2.540 ASP-125M-CTA 127.0 10 12.70 2.49 6.35 63.50 6.350 ASP-250M-CTA 254.0 10 25.40 3.53 6.35 63.50 12.700 ASP-500M-CTA 508.0 5 50.80 5.00 11.10 63.50 25.400 ASP-1250M-CTA 1270.0 3 127.00 7.98 15.88 63.50 63.500 ASP-2500M-CTA 2540.0 2 254.00 11.2,5 25.40 63.50 127.000 ASP-5000M-CTA 5080.0 2 508.00 15.93 38.10 101.60 254.000 ASP-500-CTA 12700.0 1 1270.00 25.22 82.55 101.60 635.000 型号 ASP-1-PCA 量程 2扩展范围 感度 感测直径E 探头直径D 探头长度L 最小范围 µm 25.4 10 µm/V 2.54 mm 1.09 mm 2.36 mm 2.54 µm 1.270 ASP-2-PCA 50.8 10 5.08 1.55 2.84 2.54 2.540 ASP-5-PCA 127.0 10 12.70 2.49 3.96 2.54 6.350 ASP-10-PCA 254.0 10 25.40 3.53 5.54 2.54 12.700 ASP-20-PCA 508.0 4 50.80 4.98 7.92 2.54 25.400 ASP-50-PCA 1270.0 3 127.00 7.98 13.87 2.54 63.500 ASP-100-PCA 2540.0 2 254.00 11.25 25.40 2.54 127.000 508.0 型号 ASP-1-PCR 量程 2扩展范围 感度 感测直径E 探头直径D 探头直径L 最小范围 µm 25.4 10 µm/V 2.54 mm 1.09 mm 2.36 mm 2.54 µm 1.270 ASP-2-PCR 50.8 10 5.08 1.55 2.84 2.54 2.540 ASP-5-PCR 127.0 10 12.70 2.49 3.96 2.54 6.350 ASP-10-PCR 254.0 10 25.40 3.53 5.54 2.54 12.700 ASP-,20-PCR 4 50.80 4.98 7.92 2.54 25.400 ASP-50-PCR 1270.0 3 127.00 7.98 13.87 2.54 63.500 ASP-100-PCR 2540.0 2 254.00 11.25 25.40 2.54 127.000 ASP-200-PCR 5080.0 2 508.00 15.93 38.10 5.08 254.000 ● 连接头的使用温度范围: -65ºC -- 85ºC
● 探头和电缆互换性: ± 0.5%（在没有经过校准的情况下互换）
● 材料: 不锈钢结构,内部没有电子元器件
