SJ6000激光干涉仪

SI6000激光干涉仪介绍：

SI6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。

1、可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

2、可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

3、可实现对机床回转轴的测量与校准；

4、可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

5、具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

6、支持手动或自动进行环境补偿。

SI6000激光干涉仪优点：

SI6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

SI6000激光干涉仪线性测量：

SI6000主机、EC20环境补偿单元、线性镜组、SI6000静态测量软件等组件构成，可满足0~80m范围内的线性测量。其中，线性测量包括定位精度测量、重复定位精度测量和设备反向间隙测量等。

线性测量

测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)

测量精度：0.5ppm (0~40)℃

测量分辨力：1nm

测量速度：4m/s

SI6000激光干涉仪角度测量：

角度反射镜旋转时产生转角，或是移动过程中产生角摆，两束反射光会有相对应的光程差产生，SI6000采集到该光程差的干涉信号，经过运算处理，即可得出对应的角度值

角度测量

轴向量程：(0~15)m

测量范围：±10°

测量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)

测量分辨力：0.1″

SI6000激光干涉仪直线度测量：

直线度干涉镜在移动过程中产生横向或纵向位移时，两束反射光会有相对应的光程差产生，SI6000采集到该光程差的干涉信号，经过运算处理，即可得出对应的直线度值。

直线度测量

注：R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m

SI6000激光干涉仪平面度测量：

平行度测量是在直线度测量的基础上而扩展的应用。平行度测量由平行轴的两组直线度测量组成，参见下面平行度测量光路原理构件图，其中直线度反射镜作为共同的参考基准，在测量过程中保持原位，且不进行调整。由第1运动轴的斜度θ1中减去第2运动轴的斜度θ2，即可得出平行度＝θ1－θ

平面度测量

轴向量程：(0~15)m

测量范围：±1.5mm

测量精度：±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)

基板尺寸：180mm可调，360mm可调

测量分辨力：0.1μm

SI6000激光干涉仪垂直度测量：

垂直度的测量是直线度测量在二维方向上的延伸。垂直度测量由正交轴的两组直线度测量组成，详见下面垂直度测量光路原理构件图，其中直线度反射镜作为共同的参考基准，在测量过程中保持原位，且不进行调整；光学角尺用于至少在其中一次直线度测量中，允许调整激光束与轴的准直。垂直度误差＝光学直角尺误差－斜度θ1－斜度θ2。

垂直度测量

注：R为垂直度结果；M为测量距离，单位：m

SI6000激光干涉仪技术参数：

主机

稳频精度：0.05ppm

动态采集频率：50 kHz

预热时间：≤ 6分钟

工作温度范围：(0~40)℃

存储温度范围：(-20~70)℃

环境湿度：(0~95)%RH

环境补偿单元

空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空气湿度传感器：±5%RH(0~95)%RH

大气压力传感器：±0.1kPa(65~115)kPa

角度测量范围：(0~360)°

测量精度：±1″

分辨力：0.1″

转速：10rpm

跟踪速度：2rpm

重量：1.9kg

高度：148mm

直径：112mm

通信方式：蓝牙传输

供电方式：锂电池

正交触发盒

信号输入：差分TTL(RS422)正交编码信号、10μApp微电流信号

输出形式：10μs脉冲

触发延时：0.1μs

供电电源：12VDC

尺寸重量与供电

便携箱尺寸：613mm×460mm×230mm

标准配置重量：18kg

供电电源：(100~240)VAC

SI6000激光干涉仪配置清单：