专注微小流量的精密测量和控制
陕西易度智能科技有限公司专注微小流量的精密测量和控制技术,自主研发了具有*知识产权的层流质量流量计和质量流量控制器,产品基于层流压差式原理,具有高重复性、高精度和快速响应等核心优势,为半导体、光伏行业、生物制药、新材料、新能源等制造业和科研领域提供优质的产品及技术解决方案。
S200系列高精型气体层流质量流量计
——计量级精度的高精型流量计
S200系列高精型气体层流质量流量计向对精度有更高需求的客户提供计量级的精度等级(±0.5%读数精度),通过产品内置的压力、温度传感器的精确补偿及核心算法,在低零点、温度、压力漂移量上表现出了更高性能。同时,内置4种标况温度(0℃、15℃、20℃、25℃)可供选择,并实时显示温度、压力、标况流量、工况流量、累计流量五大参数。
特征:
l 原理:层流压差式流量计
l 触屏操作:自由实现更改气体介质、调整混合气体比例和修改部分参数信息
l 高精度:±0.5%读数精度
l 高重复性:±0.1%F.S.
l 宽温度、压力适用范围:-20℃~60℃、1Mpa以内
l 实时显示5种过程变量
l 内置43种气体和混气测量
使用条件:
l 兼容内置的43种气体和可编辑的混合气体
l 工作流量范围:1%~120%F.S.
l 介质温度:-20℃~60℃
l 环境温度:-20℃~50℃
l 使用湿度:0%~98%(无冷凝)
l 工作压力:1Mpa
l 耐压:1.5Mpa
l 供电电压:﹢(19~29)VDC
l 消耗电流:<150mA (供电电压为24v时)
l 安装方式:任意角度
规格型号:
l PIPG-S201(微流量)
PIPG-S201-00-0500 0.5 SCCM
PIPG-S201-01-0001 1 SCCM
PIPG-S201-01-0002 2 SCCM
PIPG-S201-01-0005 5 SCCM
PIPG-S201-01-0010 10 SCCM
PIPG-S201-01-0020 20 SCCM
l PIPG-S202(小流量)
PIPG-S202-01-0050 50 SCCM
PIPG-S202-01-0100 100 SCCM
PIPG-S202-01-0200 200 SCCM
PIPG-S202-01-0500 500 SCCM
PIPG-S202-01-1000 1000 SCCM
PIPG-S202-01-2000 2000 SCCM
l PIPG-S220(中流量)
PIPG-S220-02-0005 5 SLPM
PIPG-S220-02-0010 10 SLPM
PIPG-S220-02-0020 20 SLPM
PIPG-S220-02-0050 50 SLPM
PIPG-S220-02-0100 100 SLPM
PIPG-S220-02-0200 200 SLPM
l PIPG-S250(大流量)
PIPG-S250-02-0500 500 SLPM
PIPG-S250-02-1000 1000 SLPM
PIPG-S250-02-1500 1500 SLPM
PIPG-S250-02-2000 2000 SLPM
PIPG-S250-02-3000 3000 SLPM
PIPG-S250-02-4000 4000 SLPM
PIPG-S250-02-5000 5000 SLPM
应用场景
l 流量校准:流量校准台的标准表、流量校准台的比对、量值传递、实验室设备的流量校准等
l 计量:稀有气体局部或整体系统流量使用量的监控、贸易结算等