元素周期表中的超轻元素，包括碳（C）、氮（N）、氧（O）、氟（F）、硅（Si）、磷（P）、硫（S）、氯（Cl），由于其外层电子密度低，荧光产额极低，X射线荧光光谱法难以获得较高的灵敏度，尤其对碳、氮、氧、氟几个元素，通常XRF无法分析其含量。同样，针对这些轻元素，其它分析仪器也较难分析，通常采用化学分析的方法分析其含量，分析繁琐、周期长，对分析工作者带来困难。
高灵敏度X射线荧光光谱仪MERAK-ULE，采用两项关键技术：、针对轻元素的单色化聚焦激发技术，更有效激发轻元素；第二、采用轻元素的元素荧光透过率*的SDD探测器。两项X射线关键技术的成功应用，使得MERAK-ULE获得分析超轻元素的能力。
X射线荧光光谱仪样品制备简单，一次性可以分析十几个轻元素，极大减轻分析工作者工作量。MERAK-ULE是超轻元素分析的利器。
- • 超轻元素分析能力
能够分析超轻元素碳（C）、氮（N）、氧（O）、氟（F）；
• 选择性激发轻元素
采用高通量全聚焦双曲面弯晶技术，将X射线管出射高强靶材特征谱单色化聚焦入射样品，选择性激发样品中轻元素，降低背景干扰，提升峰背比；
• 较低的检出限
针对轻元素单色化聚焦激发，获得极低的检出限；
• 样品处理简单
适用于固体、液体、粉末类样品，仅对样品的颗粒度和均匀性进行简单处理；
• 低分析成本
单一分析样品消耗极小，仪器稳定可靠，维护成本低；
• 分析效率高
样品分析时间3-10分钟，分析工作者从繁杂的实验工作中获得解脱； - • 元素检出限表
范围 超轻元素 轻元素 元素 碳 氮 氧 氟 硅 磷 硫 氯 检出限 2.0% 1.0% 0.5% 0.2% 0.8ppm 0.5ppm 0.15ppm 0.1ppm
• 元素检测范围
元素周期表中从碳（C）到钛（Ti）
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铝电解质样品GFC-1分析谱图MERAK-ULE将元素分析范围扩展到C、N、O、F，超轻元素在%含量范围内能够得到可靠定量结果
• 纤维素C与O分析
• 尿素样品C、N、O元素分析
