ME-L 穆勒矩阵椭偏仪
1、超宽的光谱范围：采用氘灯和卤素灯复合光源，光谱覆盖紫外到近红外范围（380-1000nm）支持拓展至200-1650nm
2、双旋转补偿器调制：高精度旋转与触发同步控制，实现高速光谱数据采集
3、全穆勒矩阵测量：基于双旋转补偿器配置，可一次获取穆勒矩阵的16个元素，相对于传统光谱椭偏仪可获取更加丰富全面的测量信息
4、超级消色差补偿设计：补偿器技术，适应从深紫外到近红外宽光谱范围内高精度相位调制要求
5、丰富的材料数据库和算法模型：数百种材料数据库、多种算法模型库、涵盖了目前绝大部分的光学材料
6、向导式交互界面：软件向导交互式人机界面操作，为用户提供优质操作体验
7、纳米光栅分析能力：*分析算法模型实现各种纳米光栅结构周期、线宽、线高、侧壁角、粗糙度等几何形貌信息提取
二、技术参数：
| 基本功能 | 一次性获取穆勒矩阵、Psi/Delta、N/C/S、R/T等光谱 |
| 光谱范围 | 380-1000nm（210-1650nm可选） |
| 测量时间 | 1-8s |
| 入射角范围 | 45-90° |
| 光斑尺寸 | 2-3mm/200um |
| 重复性精度 | 0.005nm(100nmSiO2硅片) |
| 精度 （空气介质） | 椭偏参数：ψ=45±0.05° Δ=0±0.01° |
| 穆勒矩阵：对角元素m=1±0.005 非对角元素m=0±0.005 | |
| 分析软件 | 多达数百种光学材料库，支持用户自定义 |
| 多层各向同性/异性光学薄膜、周期性光栅结构建模仿真与分析功能 |
