● Z轴通过电动手脉进行精准控制（对焦精度可达0.0005mm）
● 快速释放装置便于测量工件大或测量工件数量多的快速移动工作台
● 高位目镜观察
● 千兆网口CCD图像成像(HKVISION-300万像素)
半导体测量工具显微镜2010技术参数
3.1主体规格
◆X坐标行程: 300（mm）
◆Y坐标行程： 200（mm）
◆Z坐标行程: 150（mm）
◆X、Y坐标测量示值误差≤（3+L/150）µm ，L为被测长度(单位：mm)
◆X、Y、Z数显分辨率：0.001mm
◆轮廓光源：绿色LED平行光源，无极亮度可調
◆上光源：白色LED环形可调光源
3.2目视系统
◆双目视镜筒+标准的TV摄像机端口
◆物镜：1.0-6.5X可连续变倍物鏡
◆目镜放大倍数：10X，单双目同，可选配20X
◆总放大倍数： 10X-65X（包括畸变在内的）
◆物镜放大倍数误差：放大率误差范围在0.08%以内
3.3影像系统
◆标配CCD相机1X镜筒
◆CCD：千兆网口高清晰摄像头（HKVISION）
◆综合影像放大倍数：45X-285X
半导体测量工具显微镜2010软件功能
l 配备专业视觉影像测量软件，带十字线捕捉闪烁功能，可测量二维平面尺寸（角度、直径、半径、点到点的距离、点到线的距离、线到线距离、线到圆的距离、圆到圆的距离等等）；
l 图形自动捕捉：开启自动捕捉功能后，测量点、线、圆及圆弧，可自动捕捉到最清晰的地方；
l 视觉拍照功能：可通过软件抓拍实时产品图片，然后保存到电脑里，并可通过软件调出图片进行查看或处理；
l 标注文字：可在实时影像中标注文字说明；
l 公英制转换：测量值可在公制和英制之间切换；
l X、Y清零：可用画面十字线设置任意点为相对原点，将X、Y坐标清零；
l 测量数据输出：可将测量数据或图形导入WORD或EXCEL做报表；
l “浏览”窗口： 可观察工件的全图形并具有类似AutoCAD的缩放功能；
l 辅助功能：可把在软件中绘制出的图形进行移动、旋转、复制、删除，并可作任意线段的平行线、垂直线；
l 自动两点线：在单一画面下可自动捕捉工件的边缘，无须以人工取线，减少人眼误差，提高测量精度；
l 自动三点圆：在单一画面下可自动捕捉工件的圆半径、直径，并绘出图形，无须以人工取圆，减少人眼误差，提高测量精度；
l 自动多点线：自动捕捉工件边缘，然后根据工件边缘拟合出图形，从而减少两点取线及人眼的误差；
l 自动多点圆：自动捕捉工件边缘，然后拟合出工件的孔径，并绘出图形，从而减少三点取圆及人眼的误差；
l 自动圆：在单一画面下用鼠标框中图形，可快速自动捕捉出圆.；
l 设定工件坐标：可以根据客户本身的需要在影像中的实际工件上自行设定工件坐标，有两点确定X轴、两点确定Y轴或三点确定坐标系等多种设定方法；
l 具有坐标平移、坐标旋转及坐标分中等功能：
l 坐标标注：可标注工件中任意点的坐标值；
l Pitch标注：可标注任意点到一条直线的垂直距离，可标注任意两线的垂直距离
