仪器简介：毛细聚焦X荧光光谱仪系列产品可测量金属准直无法测量的微区，多导毛细聚焦管光学元件的光束尺寸可小至5μm，因此可以测量微电子设备、高级电路板、连接器、引脚框架和晶片的超微小区域。可以测量纳米级的镀层，毛细聚焦管能将更多的X射线输出聚焦到样品上，可以敏感的反应镀层纳米级厚度变化。其焦斑小区域上的X射线强度比金属准直系统高出几个数量级。可以实现更高的测试精度，毛细管聚焦X射线从而特征X射线强度更高，探测器接受到高的计数率，信噪比更好，可以得到更好的测试精度和置信区间。更好的测试稳定性，探测器计数率高，测试结果波动更小，样品镀层、含量的测量更为精准。
毛细聚焦X荧光光谱仪性能优势：微区分析：精准定位平台和毛细管聚焦光学结构，聚焦直径可小至 5μm FWHM.测试速度：强度高于金属准直1000倍以上的毛细管光路系统搭配一六自主研发的EFP核心算法，分析效率翻倍，将大幅度缩减分析时间。自动智能：仪器响应式自动开合，AI影像智能寻点一次编程即可实现成百上千个样品点的高效检测，实现在线检测。兼容性：可选超大样品舱及移动平台，可轻松装载大尺寸样品。所有核心部件封装于可拆卸独立测量头内，可实现即插即用的安装在厂线上。耐久性：模块化设计，使用寿命长，通用性更强，后期维护方便，各部件轻松换代升级。
高能量的X-ray，配合高分辨率、大窗口的SDD探测器，实现极小测量光斑。高集成光路+多导毛细管：在高集成光路系统的基础上，搭配多导毛细管实现极小面积、极薄镀层的高速、精确、稳定的测量。
