SuperViewW1 非接触三维表面轮廓测量仪

将白光干涉测量技术应用到3D表面轮廓仪中，可进行纳米级的测量。

中图仪器SuperViewW1非接触三维表面轮廓测量仪在获得实时数据的时候，不会对产品造成损伤，同时提高了生产效率，节约了生产成本。在线检测还没有滞后性，减少了不合格品，对便面缺陷的检测也是如此。

产品功能

1）具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能；

2）具备表面粗糙度和微观轮廓的检测功能，粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别；

3）具备校平、去除形状、去噪、滤波等数据处理功能；

4）具备粗糙度分析、轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能；

5）具备自动对焦、自动测量、自动多区域测量、自动拼接测量等自动化功能；

6）具备一键分析、多文件分析等快速、批量分析功能；

7）具备word、excel等数据报表导出功能。

SuperViewW1非接触三维表面轮廓测量仪提供全面的线粗糙度、面粗糙度的参数分析功能。拥有多种报表形式，让轮廓测量价格更为实惠。适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、弯曲变形情况、磨损情况、腐蚀情况、粗糙度、孔隙间隙、表面缺陷、波纹度、台阶高度、面形轮廓、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。能够做到在线监测、数据分析、超差报警、数据存储等，协助监测人员及时发现缺陷产生的原因。能有效监控相关设备的性能，实现表面质量判定自动化，减少了因表面缺陷而引起的损失。

SuperViewW1光学3D表面轮廓仪应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。可以用于测试各类表面。比如透明的玻璃表面，加上增透膜，其反射率小于1%；也可以用于测试直至100%反射率的各类高反表面。

技术参数

产品型号：SuperView W系列

产品名称：光学3D表面轮廓仪

影像系统：1024×1024

光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平调整：±5°手动

粗糙度RMS重复性：0.005nm

台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快、效率高

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

注释：更多详细产品信息，请联系我们获取