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固态微波远程等离子体源

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  • 所在地成都市
  • 更新时间2022-04-29
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自成立以来,沃特塞恩持续开发了覆盖ISM频段的全系列固态功率源产品,以不断迭代升级的高性能产品工业领域固态功率源产品市场的空白。在持续深耕ISM领域应用的过程中,沃特塞恩联合公司旗下拥有丰富等离子体技术开发经验的纽曼和瑞微波技术有限公司,开发了基于固态微波源的微波等离子体化学气象沉积(MPCVD)装备、远程等离子设备(RPS),赋能高品质碳材料制备产业,半导体材料刻蚀和清洗等产业并实现国产化替代。目前沃特塞恩产品已实现多产业应用布局,涉足应用包括材料制备,等离子体光源,半导体干法刻蚀、去胶设备,半导体清洗、工业微波化工、冶炼、加热、干燥,射频解冻,肿瘤微波消融、热疗和理疗、等离子体美容等医疗设备、以及科研和医疗粒子加速器、ECR离子源等应用。沃特塞恩团队始终坚持以科技创新为主的发展方向,不断加强产品研发创新、夯实生产管理能力、严格把控产品质量,立志做的产品,创的品牌,成为值得客户托付信赖的合作伙伴!
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固态微波远程等离子体源
固态微波远程等离子体源 产品详情
技术规格

项目

特征

频率

2450MHz

微波功率

额定1.5kW,3kW

功率稳定度

≤1%

适用气体

O2,N2, H2, Ar, He, CF4, SF6, CI2

运行气压范围

0.06-20 Torr

气体流量范围

0.1-10 slm

等离子发生腔材质

石英、陶瓷、蓝宝石可选

电源输入

单相交流 110-264V/50-60Hz

冷却方式

循环水冷, 8L/MIN, 5-25℃, 1/4"快速接口(固态微波源部分)
循环水冷, 3L/MIN,5-25℃

控制接口

DB9F / RJ45

等离子输出端口

ISO-K 63

外形尺寸

350*250*140mm (等离子体放电腔部分)
450*308*318mm (固态微波源部分)

整体重量

50KG


应用范围

前道及后道半导体生产工序中的去胶

前道及后道半导体生产工序中的刻蚀

柔性PCB卷对卷工艺制作中聚酰亚胺薄膜的刻蚀

材料表面处理



外形尺寸

等离子体放电腔

图片1

固态微波源

图片2


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