中图仪器3d光学检测轮廓仪可测量程范围内的三维尺寸，不过白光干涉仪主要还是用于检测样品表面的粗糙度、台阶高、微观几何轮廓等参数，属于3D测量领域高精度检测仪器之一，其在同等系统放大倍率下检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜，在一些纳米级和亚纳米级超精密加工领域，除了白光干涉仪，其它的仪器无法达到其精度要求。
性能特点
1、参数测量：粗糙度、围观轮廓尺寸、角度、面积、体积；
2、环境噪声检测：实时监测，纳米波动，也无可藏匿；
3、双重防撞保护：软件ZSTOP和Z向硬件传感器，让“以卵击石”也能安然无恙；
4、自动拼接：3轴光栅闭环反馈，让3D拼接“天衣无缝”；
5、双重振动隔离：气浮隔振，吸音隔振，任你“地动山摇，我自岿然不动”。
中图仪器3d光学检测轮廓仪具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。并且其特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。
中图仪器让轮廓测量价格更为实惠，3d光学轮廓仪设备的分辨率0.1μm，重复性0.1%，应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙间隙、弯曲变形情况、腐蚀情况、表面缺陷、台阶高度、波纹度、磨损情况、面形轮廓、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
