产品简介：
型号：MFC501应用领域：——分析仪器
——干刻（RIE/DRIE)——生物技术
——气象色谱分析——激光焊机
产品特征：
高精度，高稳定性，快响应，小体积。
产品简介：
型号：MFC501
应用领域：
——分析仪器 ——干刻（RIE/DRIE)
——生物技术 ——气象色谱分析
——激光焊机 ——过程自动化
——真空镀膜 ——燃料电池
产品特性：
◆无可移动部件
◆支持多种通讯协议
◆容易安装及维护
◆高精度、高稳定性、非常低的零漂
◆可控多种气体
◆可配控制器
◆产品低功耗
机械尺寸：
技术指标：
流量规格：0~20,30,50,100,150,200,275SLM
准 确 度：±1.5％F.S.
线 性 度：＜±1％F.S.
重复精度：±0.2％F.S.
响应时间：＜1S
工作压差：0~0.8MPa
耐压：3MPa
环境温度：5-55℃
电气连接：Db15
输出信号：0~5V、4~20mA
电 源：±15V或者15~28V
流量调节范围：2~100F.S
漏 率：＜1*10-7Pa*m3/s
温度系数：＜0.1%F.S/℃
外形尺寸：106*36*138
重 量：2.0Kg
电气连接：DB15
