直流磁控溅射镀膜系统-仪表网

公司介绍主营产品

上海续波光电技术有限公司是一家专业从事高性能薄膜沉积及处理设备、光电材料、光学软件等产品进口的技术贸易服务型公司，公司至今已与欧美、日本等国家的十余家企业建立了战略合作关系；目前服务于国内从事微电子、半导体、光学、纳米技术等领域的研究所和大学。主要产品包括：溅射、蒸发镀膜仪、离子减薄仪、刻蚀机、等离子处理设备、CVD金刚石沉积设备、激光辅助化学束沉积设备，红外窗口材料、各种功能CVD金刚石产品，光学设计、激光仿真、BSDF/BRDF测量仪、电磁场模拟仿真及测量仪器等模拟设计软件等。

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关键词：镀膜、金属膜、Al,Ti,Cr,Ni,Cu,Au,Nb,W,Pd,Pt,Mo可在导体或绝缘体上溅射任何薄膜气路：Ar气路配搭MFC阴极：3个4英寸直流磁控管

直流磁控溅射镀膜系统产品详情

关键词：镀膜、金属膜、Al, Ti, Cr, Ni, Cu, Au, Nb, W, Pd, Pt, Mo

可在导体或绝缘体上溅射任何薄膜

气路：Ar气路配搭MFC

阴极：3个4英寸直流磁控管，一个加强磁控管用于Ni，一个6英寸磁控源

靶材： Al, Ti, Cr, Ni, Cu, Au, Nb, W, Pd, Pt, Mo

直流电源：200mA-1A（1千瓦功率）

衬底偏置：等离子刻蚀，20-250W（RF ）

样品台：可接纳4个4英寸衬底，衬底可旋转

真空泵：前级泵+低温泵

全自动、半自动、手动模式

支持远程维护和操作

关键词：直流电源真空泵

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