高品质大面积激光镜面镀膜系统（直径350mm晶圆）

高品质大面积光学薄膜沉积系统

1.       主腔体：圆柱形304不锈钢、长方形前门、2个观察窗口、大约1000L

2.       真空系统：螺旋泵80m³/h+低温泵10,000 l/s (N₂)

3.       离子源：RF耦合（2MHz）, filament-free离子源用于惰性气体和氧气

                         束径100mm， 电流＞200mA，电子能量1-2 KeV

                        工艺气体：4个流量控制机，用于氧气、稀有气体

                        Ar等离子体，电子束流500mA

      3a.     离子源升级：代替标准离子源（3）

                                RF耦合（2MHz）, filament-free离子源用于惰性气体和氧气

                                束径150mm，电流大于500mA，电子能量大于1 KeV

                                工艺气体：4个流量控制器，用于氧气、稀有气体等

                                Ar等离子体，电子束流900mA

      3b.     辅助离子源：RF耦合（2MHz）, filament-free离子源用于Ar和氧气

                                      工艺气体：2个流量控制器，氧气和稀有气体

                                束径100mm，离子能量200-1000 eV，束流0-200mA

4.       靶          400m×200mm （标准3）；400mm×250mm（选项3a）

                              标准材料：Ta＞99.998%，Si＞99.999%

      4a.      可选靶  200mm×200mm 或200mm×250mm     

                              材料：Nb>99.95%, HfO₂>99.99%, Al>99.999%, Ti>99.99%

                              更高纯度或其他材料可以提要求

      5   样品台        平面、真空兼容Al样品台

                              Bottom-up coating 法

                              沉积区域直径200mm（标准3）、沉积区域直径350mm（选项3a）

                              旋转速度0-120rpm

      5a.         Load Lock可选  

                    直径400mm，加载重量5kg

                    螺旋泵+分子泵抽高真空

                    手动加载，自动送样

      5b.        衬底加热可选    

                   石英加热器，最小功率1.6KW，衬底温度280℃

                   采用热电偶控温

       6.    OMS               波长范围380-1050nm

                                     波长分辨率2nm

                                     测量误差补偿＜0.2%

                                     测量误差噪音<1%峰值（@650nm）

                                     全自动控制

                                     积分时间：2ms

       6a.    DUV可选          DUV延长宽波段OMS

                                        波长范围230-380nm

                                        波长分辨率2nm

                                        测量误差补偿＜2%

                                        测量误差噪音<1%峰值（@350nm）

                                        积分时间：10ms

        6b.     IR可选           波长范围900-1700nm

                                        波长分辨率5nm

                                        测量误差补偿＜2%

                                        测量噪音<1%峰值（@1200nm）

                                        积分时间：12ms

        7     系统性能表现：

                       真空度    基准真空度＜3×10^-7mbar

                                      工作气压＜1×10^-3mbar

                       标准靶     沉积速率0.15nm/s (Ta₂O₅, SiO₂) @200mm直径 （标准3）

                                       沉积速率0.15nm/s (Ta₂O₅, SiO₂) @350mm直径(3a选项)

                       薄膜均匀性         优于±1%@<直径200mm（标准3）

                                                   优于±1%@<直径350mm（选项3a）