概述
新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能，运行成本更低。EPX180 使用了的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。
模块化 EPX180 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。
模块化 EPX180 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。
EPX 泵系统在大气压和极限真空之间的压力下工作，增压室内无润滑或密封液。这样可以泵送系统清洁，不会因为系统的排空而使油或液体回流到系统中。
泵的定子和封闭马达通过集成化水冷回路进行冷却。因此，EPX 泵适合在不允许使用风扇的洁净室环境下使用。冷却水供应和回水管通过水接头（由客户）连接到泵。冷却水的提供必须与环境条件（湿度和温度）相当，以便不会达到结。
泵装有一个 EMC 供应过滤器和一个变换器驱动，该驱动可提供和控制泵马达的电源。前盖上的 LED 标识 EPX 泵的状态。马达速度取决于泵入口处的压力。当泵在入口压力处于或接近大气压的情况下启动时，马达会加速到某个速度，该速度受可以由变换器驱动提供的电流限制。随着入口处的压力降低，马达速度会加快，直至该速度终达到其预定的大速度。如果入口处的压力增大，则马达速度会再次减慢。
EPX L 系列的泵不能进行手动操作；这些泵必须通过外部控制设备进行控制和监视，而控制设备必须通过工具接口模块 (TIM) 连接到 EPX 泵。
EPX 泵由四个振动隔离器进行支持。
泵保护传感器可在出现故障状态时自动关闭泵。
泵的定子和封闭马达通过集成化水冷回路进行冷却。因此，EPX 泵适合在不允许使用风扇的洁净室环境下使用。冷却水供应和回水管通过水接头（由客户）连接到泵。冷却水的提供必须与环境条件（湿度和温度）相当，以便不会达到结。
泵装有一个 EMC 供应过滤器和一个变换器驱动，该驱动可提供和控制泵马达的电源。前盖上的 LED 标识 EPX 泵的状态。马达速度取决于泵入口处的压力。当泵在入口压力处于或接近大气压的情况下启动时，马达会加速到某个速度，该速度受可以由变换器驱动提供的电流限制。随着入口处的压力降低，马达速度会加快，直至该速度终达到其预定的大速度。如果入口处的压力增大，则马达速度会再次减慢。
EPX L 系列的泵不能进行手动操作；这些泵必须通过外部控制设备进行控制和监视，而控制设备必须通过工具接口模块 (TIM) 连接到 EPX 泵。
EPX 泵由四个振动隔离器进行支持。
泵保护传感器可在出现故障状态时自动关闭泵。
应用
- EPX 系列涵盖的应用，从水处理到中度工作负载的制程。
EPX“L”系列旨在用于泵送惰性气体混合物（如负荷锁定）且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。
功能和优势
- 紧凑的占地面积 – 作为可用的工具上泵之一，EPX 节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程安装。
- 低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式，从而可大化功率效率。
- 的保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力，并可以在进气口压力下连续工作。
- 清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂，并且不存在任何其他的潜在污染源。
- – EPX 基于经过现场验证的 IPX ，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大约每 5 年维修一次，大程度地延长了泵的使用寿命。
- 可兼容的网络 - EPX 系列配有终用户控制，可以连接到结构的网络，以进行诊断监视和控制。
数据
| 峰值速度 | 170 m3h-1 |
| 105 ft3min-1 | |
| 2835 lmin-1 | |
| 极限真空 | |
| <1 x 104 mbar | |
| <7.5 x 10-5 Torr | |
| <1 x 10-2 Pa | |
| 预热时间（达到标称性能） | 30 分钟 |
| 入口法兰 | ISO63 |
| 法兰 | NW25 |
| 噪音 | <59 dB(A) |
| 水接头 | 3/8 in 快速 |
| 冷却水流速 | 2 lm-1 |
| 冷却水温度 | 15 – 35°C |
| 电源供给 | 200/208 V，50/60 Hz 三相 |
| 极限功率 | 1.4 kW |
| 电机额定功率 | 3.0 kW |
| TIM | C3 |
| 重量 | 43.5 kg |
