杭州太昊科技有限公司，

是INFICON的*代理商，同时代理经销德国Leybold（莱宝）、Atlas Copco（阿*.科普柯）、Varian/Agilent（瓦里安/安捷伦）、瑞士Vogtlin（福特林）等品牌产品。我们致力于*真空技术的推广、应用，从中低真空、高真空、到超高真空，我们可以根据客户的要求**合适的真空产品，提供*上等的真空解决方案，为广大用户改进生产工艺，提升竞争力提供产品服务和技术支持。同时为满足更广大的客户要求，我们拓展了工业流量控制的产品服务，根据客户的工艺要求提供*优化的流量控制解决方案。

目前，公司主要提供的业务有：

一、代理品牌的产品销售，及技术支持服务。

二、为客户提供上等的真空解决方案，包括：真空非标系统设计、真空检漏技术方案、真空设备维修服务；

三、流量控制解决方案：气体、液体、特殊物质流量控制方案；

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产品简介在线询价

XPR3L 提供的 PVD 过程监控解决方案可以实时提供有关过程气体压力、气体比率、污染级别、杂质和泄漏情况的信息。此信息可用于大限度提高过程良率和产品质量。XPR3L 提供的本底监控解决方案可以通过快速检测和诊断泄漏及污染，提高预防性维护程序的有效性和效率。

英福康Transpector XPR3L 气体分析系统四极质谱仪产品详情

Transpector XPR3L 气体分析系统

通过监测气体压力、检测污染和查找泄漏，优化太阳能电池和 LCD 过程良率

用于监控过程气体和基本真空条件的工具是 Transpector ® XPR3L 气体分析系统提供的经济高效的 RGA。XPR3L 提供的 PVD 过程监控解决方案可以实时提供有关过程气体压力、气体比率、污染级别、杂质和泄漏情况的信息。此信息可用于大限度提高过程良率和产品质量。XPR3L 提供的本底监控解决方案可以通过快速检测和诊断泄漏及污染，提高预防性维护程序的有效性和效率。

功能

通过运行高达 10mTorr（可选 20mTorr）的 UHV，提供经济实惠的双用功能、过程监控和基本真空保证
经济高效的过程监控器，可用于可扩展的生产设计
通过持续自动监控过程气体压力、气体比率和可能存在的污染或杂质，提高过程良率，减少碎片，提高产品质量
通过以高灵敏度和*小可检分压强验证基本真空条件、查找泄漏以及鉴别污染，加快 PM 恢复，提高生产力
可在 1 - 100 amu 质量范围内运行，能够检测各种材料、污染或副产品，确保您的投资安全，降低投资风险
与 FabGuard 监控和分析系统相兼容，提供可靠、*的诊断和过程控制

典型应用

太阳能/光伏设备制造
LCD 制造
PVD 过程监控
监控过程气体压力和气体比率
暴露和鉴别污染
检测和查找泄漏（空气、氦气、水及其他蒸汽）
PM 恢复/故障排除和验证基本真空

关键词：过程控制

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