杭州太昊科技有限公司，

是INFICON的*代理商，同时代理经销德国Leybold（莱宝）、Atlas Copco（阿*.科普柯）、Varian/Agilent（瓦里安/安捷伦）、瑞士Vogtlin（福特林）等品牌产品。我们致力于*真空技术的推广、应用，从中低真空、高真空、到超高真空，我们可以根据客户的要求**合适的真空产品，提供*上等的真空解决方案，为广大用户改进生产工艺，提升竞争力提供产品服务和技术支持。同时为满足更广大的客户要求，我们拓展了工业流量控制的产品服务，根据客户的工艺要求提供*优化的流量控制解决方案。

目前，公司主要提供的业务有：

一、代理品牌的产品销售，及技术支持服务。

二、为客户提供上等的真空解决方案，包括：真空非标系统设计、真空检漏技术方案、真空设备维修服务；

三、流量控制解决方案：气体、液体、特殊物质流量控制方案；

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产品简介在线询价

Transpector XPR3 提供的 RGA 过程监控功能可以为您提供有关污染级别、除气级别、气体纯度和设备操作等方面的实时数据。用户可以根据此信息检测和诊断问题，从而*大化吞吐量和产量，也可以根据此信息制定更有效的预防性维护计划，从而延长工具运行时间。

英福康Transpector XPR3 气体分析系统,高压强型四极质谱仪产品详情

Transpector XPR3 气体分析系统

无需复杂压力转换的 PVD 过程监控

Transpector XPR3 提供的 RGA 过程监控功能可以为您提供有关污染级别、除气级别、气体纯度和设备操作等方面的实时数据。用户可以根据此信息检测和诊断问题，从而*大化吞吐量和产量，也可以根据此信息制定更有效的预防性维护计划，从而延长工具运行时间。

Transpector XPR3 是新一代气体分析系统，可用于基于四极杆的高压过程气体分析。它借鉴了之前 INFICON 系统的成功经验，具有****的灵敏度、准确性和灵活性，可以监控气相沉积 (PVD) 过程。Transpector XPR3 取得了一系列技术上的突破，无需大型、复杂的压力转换设备，即可在 20 mTorr 至超高真空范围内操作。

功能

经过重新设计的离子源*大限度减少污染积存，可延长使用寿命，提供更纯净的信号。
新 EM 在 PVD 过程压力下工作，可实现更快速、更纯净的数据收集，消除 FC 向 EM 过度的必要，更便于数据分析。
更长的新型四极杆提高了低质量范围下的滤波性能，增强了丰度灵敏度，从而提高了氢气检测灵敏度。

典型应用

PVD 过程模块
预清洗模块
非群集 PVD 工具
夹钳式除气模块

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