ToF SIMS 5-100/ION TOF ToF SIMS 5-100 飞行时间二次离子质谱仪

性能指标

质量分辨率：29Si>12000，在m/z>200附近可以达17000以上；检测极限：ppm~ ppb级；质量范围：~12000；检测范围：所有元素(含H、He)及同位素；横向分辨率<70nm, 深度分辨率<1nm

主要应用

谱图检测、化学成分成像及深度剖析测试，可应用于分析有机、无机、纳米材料（特别是半导体、电池材料）、微电子、生物医学、地质/考古、冶金、环境、人工智能等固体材料。 纳米尺度下，对固体材料、生物组织或细胞进行化学成像分析；半导体材料痕量杂质分析(ppm至ppb)；薄膜样品三维空间尺度化学成分分布及成像。

样品要求

1、不能被测试的样品种类： 放射性的样品；真空中会释放大量气体、尤其释放的气体对不锈钢具有腐蚀性的样品，比如可以释放出HCl+H2O,有化学毒性和生物毒性的样品；低熔点样品，如松香等，高密度束流溅射后可能会熔化；在制样过程中容易快速潮解的样品。

2、样品物性/外形/尺寸：

（1）固体样品（导体、半导体和绝缘体）。其中薄膜、片状、块体：长×宽尺寸约10 mm × 10 mm~12 mm × 12 mm，厚度不大于5mm；

（2）尽量保持样品上下表面平整（尤其待测面，越平整越好）；

（3）粉末样品压片后送样。压片时使用清洁的铝箔包裹粉末样品，以避免在加压过程样品表面被污染,压片后的尺寸要求见（1）条。

（4）通过溶液涂膜方法制备薄膜样品时，使用表面平整的导体或半导体作为衬底，例如：Si片， 镀金的Si片，或银片等。

3、送样时注意事项：

（1）送样时，请附上打印的预约单及送样记录单；

（2）待测试的样品表面不能被沾污（如手摸拿，碰触污染物等，制样及装样过程中均需注意），所有样品在送样之前必须提前进行真空干燥或者冷冻干燥；

（3）样品中不得含有乙酸乙酯、氯仿、二氯甲烷、苯、环己烷、DMSO等有机试剂；

（4）易被氧化或易吸水样品，在送样过程中应注意隔离空气（如放保干器， 或高纯Ar气袋 ），或事先与我们联系，商量解决办法；

（5）用带盖的玻璃小试管、小容量瓶等容器装样；不要直接使用塑料容器、塑料袋、含硅的胶带或胶面和纸袋，以免硅树脂或纤维污染样品表面。也可以使用干净的铝箔直接包裹样品后放入干净的玻璃器皿中送样；

（6）如果高分子材料中含有残余的挥发性有机试剂分子或小分子单体，务必先行在真空烘箱中抽除这些物质。如果样品置入ToF-SIMS预抽真空腔体内，经过一夜抽真空后依然无法抽至1e-7mbar以下，该样品的测试将被取消；

（7）对薄膜、片状、块体样品标记出测试面；千万注意：不能使用墨水笔在样品上标记测试面，以免墨水中的有机试剂污染待测样品表面！！！对于金属或半导体，高分子材料片状，建议使用刀片或金刚石刻刀在不测的一面画＂＋＂字；　另外，样品袋上要用标签纸标上预约人姓名；

（8）写明分析测试的要求，如待测成分，送样信息等（见送样记录单），如果样品有易变性（如被氧化，吸附等），易熔化等情况应说明清楚（可在送样记录单中说明）；

（9）初次实验需要决定分析条件情况，送样者若能到场，可能有助于测试的进行。 

仪器说明

仪器名称：飞行时间二次离子质谱仪；

生产厂家：德国ION-TOF GmbH

仪器型号：TOF SIMS 5 配备高效电子中和枪，可精确分析绝缘材料；分析源配备Bi源分析枪（LMIG）及氩原子团簇离子枪（GCIB），溅射源配备O源、Cs源及GCIB。