微小气体质量流量计
原理&结构
FGM223系列系列质量流量计是采用业界*的高质量流量传感器芯片，结合数字处理技术和工业设计，所开发的一款智能化高精度气体质量流量检测仪表。该产品具有精度高、量程比大、响应速度快、集成度高等优点，同时采用电磁兼容设计，使其可以适用于燃气、石油、化工、能源、医院等多个领域。在输出方面，带有工业级液晶显示屏可选，用于显示瞬时流量、累计流量等信息，并支持模拟和数字双输出方式。此系列产品的量程从1SCCM到100SLM（其它量程可咨询定制），典型精度为±1.0%（±0.5%可定制）。
微小气体质量流量计
特点
超小的体积，适合系统集成
高精度及优越的零点稳定性
超快的响应时间及稳定时间
良好的重复性和再现性
宽电压输入，多种信号输出方式
采用LCD显示瞬时流量和累计流量
结合电磁兼容设计技术，更高的抗干rao 能力
应用
氢能测试
天然气
密封检测
实验室
化工
医疗
半导体设备
其他气体流量控制行业等
技术参数
参数说明 | |
介质要求 | 洁净干燥无腐蚀性气体 |
介质种类 | 空气、氮气、氩气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氧气等 |
量 程 | (0...1, 3, 5) SCCM |
(0...10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM | |
(0...1, 2, 3, 5, 10, 20, 30, 50, 100) SLM | |
精 度 | 读数误差的1%或满量程误差的0.5%，二者取zui 大值 |
分辨率 | zui 低0.01SCCM |
响应时间 | ≤0.7S |
重复精度 | ±0.2%F.S |
线性 | ±0.5%F.S |
漏率 | 1×10 -11 Pa·m3/sec He |
10bar | |
环境条件 | |
工作温度 | -20...60℃（低温或高温条件下试用需特别说明） |
工作湿度 | 10%~90%RH（无结冰，无凝露） |
工作压力 | 0...1MPa |
储存温度 | -20...85℃ |
电气参数 | |
供电电压 | DC8-24V，纹波 ≤50mV |
功 耗 | ＜1.2W（有屏幕） |
＜0.3W（无屏幕） | |
启动时间 | 0.5s |
预热时间 | <10ms |
通信方式 模拟信号（电流、电压） | |
电流信号 | 4...20mA (线性对应量程) |
电压信号 | 1...5V (线性对应量程) |
模拟信号 | RS485 |
数字信号（RS485） | |
接口类型 | D-SUB 9针 |
通信速率 | 4800, 9600(默认), 14400, 19200, 38400, 56000, 57600, 115200, 128000, |
230400, 256000, 460800, 500000（可通过指令或者上位机修改） | |
协 议 | RS485（默认Modbus-RTU，可定制私有协议） |
设备地址 | 1(默认)-250(可通过指令或者上位机修改) |
zui 大节点数 | 250 |
机械参数 | |
接头类型 | 卡套：8mm（默认）、12mm、3/8 inch，快插：6mm，8mm，其它可选 |
主体材质 | 底座：航空铝合金，外壳：钢板镀锌 |
密封材质 | FKM氟橡胶 |
重 量 | 0.5kg |
尺寸图
选型表
公司主营产品有：涡街流量计、涡轮流量计、超声波流量计、电磁流量计、齿轮流量计、浮子流量计、质量流量计、污水流量计、水流量计、流量开关、压力表、压力变送器、差压变送器、温度开关、温度变送器等。产品广泛用于石油、化工、冶金、电力、化纤、环保、食品、制药、造纸以及给排水等行业。公司坚持“科技、创新、质量、服务”的发展方针，继续秉承“打造产业航母、贡献民族经济”的宗旨，在今后的发展中，将继续致力于品牌建设，不断培育新的经济增长点，把之建设为国际品牌企业。
