镀膜工艺监测器 SPM 220 在10^-2 hPa 的即时镀膜工艺气体分析-仪表网

公司介绍主营产品

成立于2015年的蓝钛科技从专业的*品牌代理销售，到高度满足客户需求的仪器设备定制服务，蓝钛科技已经成为实验室仪器设备及产品方案提供商。我们专注于为客户提供材料分析及工艺控制的高品质设备及技术支持服务，公司汇集众多行业精英，主创团队均拥有分析检测行业十年以上经验。产品范围包括物理、化学、颗粒、通用实验室的各类分析仪器以及实验室耗，客户遍布航空航天、高校、研究院所、制药、电子等诸多领域。

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真空镀膜工艺监测器 SPM 220 为镀膜工艺的定性和定量气体分析提供了的解决方案。HiPace 涡轮分子泵组和质谱仪系统的组合加上专门开发的镀膜工艺监测器离子源，在高达 10^-2 hPa 的压力下，实现了精确到分钟的工艺气体分析。普发真空还提供了一个带有压差孔板法兰的版本作为选择，使得在高达 10 hPa 的压力范围里进行直接的工艺气体分析成为了可能。

镀膜工艺监测器 SPM 220 在10^-2 hPa 的即时镀膜工艺气体分析产品详情

产品优势

● 用于瞬时过程监测的镀膜工艺监测器离子源

● 用于 H2、O2、H2O 和 CO2 的优秀检测限

● 对测量结果的最小化背景影响

● 压力高达 10 hPa 的压差版本

● 多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估

● 灵活集成的紧凑尺寸

● 通过各种数字和模拟输入和输出，使系统集成方便而灵活

典型应用

● 在高达 10^-2 hPa 的压力下，镀膜工序的分析可精确到分钟

● 真空镀膜系统的制造商和操作员

● 半导体生产

● 玻璃镀膜

● 薄膜太阳能电池发电

● 研发

关键词：质谱仪

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