一、简介
1.1 概要
真空等离子清洗机(Plasma cleaner)，气体通过激励电源离化成等离子态，等离子体作用于产品表面，清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。
1.2 产品特点
u 产品放置治具灵活多变，可适应不规则的产品
u 水平电极设计，可满足软性产品处理需求。
u 低耗能、耗气产品。
u 便捷的收放板方式
u 真空系统集成，占地面积小
u 合理的等离子反应空间，使处理更均匀
u 集成的控制系统设计，使操作更方便
1.3行业应用
u 手机行业：TP、中框、后盖表面清洗活化
u PCB/FPC行业：孔内钻污及表面清洁、Coverlay表面粗化及清洁
u 半导体行业：半导体封装、摄像头模组、LED封装、BGA封装、Wire Bond前处理
u 陶瓷：封装、点胶前处理
u 表面粗化蚀刻：PI表面粗化、PPS蚀刻、半导体硅片PN结去除、ITO膜蚀刻
u 塑胶材料：Teflon特氟龙表面活化、ABS表面活化、以及其他塑料材质清洗活化
u ITO涂覆前表面清洗
二、技术规格
2.1设备规格
电源系统 | 射频电源 | 中频电源 | |
功率 | 0~1000W | 0~2000W | |
频率 | 13.56MHz | 40KHz | |
真空系统
| 泵组 | 罗茨泵+单级旋片泵 | |
真空管路 | 全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管 | ||
材质 | 铝合金（可定制不锈钢腔体） | ||
厚度 | 25mm | ||
密封性 | 级焊接密封 | ||
腔体内部尺寸 | 590（W）*600(D)*660(H)mm | ||
电极板有效尺寸 | 575×510mm（宽×深） | ||
可用空间间距 | 34mm | ||
电极板布置方式 | 水平布置，可活动抽取 | ||
工作托盘 | 标配一套，材质可选配(铝材、钢丝网） | ||
工作空间 | 8层 | ||
气体系统 | 流量范围 | 0~300SCCM | |
工艺气体气路 | 标配两路，可定制（氩气、氧气、氮气、氢气、四氟化碳） | ||
控制系统 | 系统控制 | PLC | |
交付方式 | 7寸触控屏幕 | ||
其它参数 | 外形尺寸 | 1050×1750×1050mm（宽×高×深） | |
重量 | 350KG | ||
设备外观颜色 | 银灰色 | ||
2.2厂务规格要求
厂务规格要求 | |
交流电源规格 | 电源：AC380V，50/60Hz，5线，30A |
厂务排气 | 流量：2.0 m³/min |
厂务工作气体要求 | 流量：1~10 L/min 压力：3~7 kg/cm² 管径：6×4 mm 材质：PU管 纯度：99.99%以上 |
厂务压缩空气要求 | 流量：1~10 L/min 压力：3~7 kg/cm² 管径：8×5 mm 材质：PU管 露点：-40℃以下 Particle＞0.3μm：10Pcs/ft³ |
2.3 一般规格
一般规格 | |
危险标识 | 高压危险标识 |
使用环境 | 温度：15~30℃ 湿度：30~70% |
其他注意事项 | 不可有可燃性气体，腐蚀性气体，爆炸或反应性粉尘 气瓶需固定 |
