技术参数:
1 本底真空:10-7 Torr;
2 单基片设计,尺寸可定制;
3 基片可旋转并加热:300℃/500℃/800℃;
4 溅射:1-3支磁控溅射靶枪,可共溅射;
5 电子束蒸发:4-6坩埚
6 热蒸发:最多6蒸发源,包括有机物蒸发源;
7 可连接手套箱
技术参数:
1 本底真空:10-7 Torr;
2 单基片设计,尺寸可定制;
3 基片可旋转并加热:300℃/500℃/800℃;
4 溅射:1-3支磁控溅射靶枪,可共溅射;
5 电子束蒸发:4-6坩埚
6 热蒸发:最多6蒸发源,包括有机物蒸发源;
7 可连接手套箱
产品名称 | 参考价 | 地区 | 公司名称 | 更新时间 | |
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