SMX-ILH的热屏蔽技术可使热基板在高达300˚C下实时进行X射线荧光数据采集,减少面板的停留时间,提高加工能力。由于采用一个专门设计的Z轴高度调节功能装置,该系统能够适应大型面板中经常出现的平面性差异(弓起和卷曲)等问题,从而进一步提高了测量精度和结果,尤其是在较高的温度下。
- 成分和层厚分析
- 材料选择,薄层配方
- 在线及离线过程控制
- 良率管理
应用领域:
- 光伏制造过程
- 微电子制造
- 防腐蚀涂层
- 热障涂层
- 能源(CIGS, CIS,电池)
SMX-ILH的热屏蔽技术可使热基板在高达300˚C下实时进行X射线荧光数据采集,减少面板的停留时间,提高加工能力。由于采用一个专门设计的Z轴高度调节功能装置,该系统能够适应大型面板中经常出现的平面性差异(弓起和卷曲)等问题,从而进一步提高了测量精度和结果,尤其是在较高的温度下。
应用领域:
产品名称 | 参考价 | 地区 | 公司名称 | 更新时间 | |
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