Park Systems原子力显微镜 XE-7
仪器简介:
的纳米领域研究利器。的三轴分离设计，既保证了XYZ三个方向无耦合效应，从原理上消除了平面扭曲误差；同时独立的Z轴扫描器，实现了真正的非接触式扫描，极大地扩展了样品适用范围。自上而下的直视光路，方便用户对探针和样品的观察，专门设计的探针安装方式，简化了光路调整过程，降低了操作难度。
Park Systems原子力显微镜 XE-7技术参数：
扫描器
XY扫描器
柔性制导闭环控制单模块扫描器
扫描范围10μm*10μm（可选50μm*50μm ，100μm*100μm）
平面偏移度:<2nm（40μm*40μm扫描）
Z扫描器
柔性制导强力扫描器
扫描范围12μm（可选25μm）
共振频率：>5kHz
表面成像噪声：0.03nm
样品台
样品尺寸： 100mm*100mm*20mm
样品重量：zui大500g
样品台移动范围：13mm*13mm
主要特点：
一、精确的XY方向扫描，消除了交叉耦合误差
●使用独立的闭环XY平板式扫描器和Z轴扫描器
●平板式的扫描扫描器，残留弯曲误差极小
●整个扫描范围内的水平线性误差小于2nm
●精确的高度测量
二、Non-Contact™(真正非接触) 模式能够延长针尖寿命，提供高分辨率及保护样品
●Z伺服速度是压电陶瓷管的10倍
●非接触模式可降低针尖磨损、延长使用寿命
●成像分辨率优于同类原子显微镜
●增强样品兼容性，提高扫描精度
三、zui丰富的功能拓展
●支持多种SPM模式
●支持多种选配测量模式
●支持各种可选配件，扩展性能*
四、zui为便利的使用设计
●开放式样品空间，提高样品及针尖更换效率
●预对准针尖安装和同轴直视光路直观地实现激光对准
●燕尾锁方便扫描头拆卸
