BCG450 大气压至超高真空三合一真空计
INFICON贝阿德-阿尔珀特皮拉尼（Pirani）BCG450型电容式膜片真空计将三大不同技术的优势融合在一个单个、紧凑和经济的可以测量
5×10-10 到 1500 毫巴（3.75×10-10 到 1125 托）的过程压力和基准压力的工具包里。
BCG450型电容式膜片真空计的设计旨在替代三个传感器（热离子、热量增强型皮拉尼和真空开关），从而节省成本和宝贵的工具空间。
益处
- BCG450 可节省成本和工具空间，降低真空测量安装与设置的复杂性
- 10 托以上的压力测量不受气体类型限制，能够对任何气体混合物提供更为可靠的加载互锁控制
- 皮拉尼联锁保护热丝，防止过早烧毁
- 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
- 大气压下的压差测量消除了大气压力变化引起的不确定
- 易于更换的传感元件与板载校准数据确保再现性
- 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
- RoHS 合规
典型应用
- 半导体过程、传输腔室和加载互锁真空室的压力测量
- 工业镀膜
- 低真空和超高真空范围内系统的一般真空测量和控制
新闻
现有全新EtherCAT数字接口供应！
零件号
| BCG450 | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 353-550 | BCG450 规管 |
| 353-561 | BCG450 TripleGauge; DN 25 ISO-KF; Baffle |
| 353-551 | BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R |
| 353-552 | BCG450 规管 |
| 353-553 | BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R |
| 353-554 | BCG450-SP TripleGauge; DN 25 ISO-KF |
| 353-556 | BCG450-SP TripleGauge; DN 40 CF-R |
| 353-557 | BCG450-SD TripleGauge; DN 25 ISO-KF |
| 353-558 | BCG450-SD TripleGauge; DN 40 CF-R. |
| 353-592 | BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
| 353-593 | BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R |
规格
| 类型 | BCG450 | |
|---|---|---|
| 测量范围 | mbarTorr | 5×10-10 … 1500 |
| 精度 | ||
| 10-8 … 50 毫巴 | % of reading | ±15 |
| 50 … 950 毫巴 | % of reading | ±5 |
| 950 … 1050 毫巴 | % of reading | ±2.5 |
| 可重复性 | ||
| 10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | 5 |
| 热离子发射 | mbar | 2×10-2 (high) |
| （可选高/低，通过 RS232 / 现场总线） | mbar | 8×10-3 (low) |
| 除气 (1) | ||
| p < 7.2 × 10-6 | mbar | electron bombardment, max. 3 min |
| 压力， | bar (absolute) | 5 |
| 温度 | ||
| 运行（环境） | °C | 0 … +50 |
| 贮存 | °C | -20 … +70 |
| 在法兰处烘烤 | °C | 80 |
| 移除烘烤电子设备 | °C | 150 |
| 电源电压 | V (dc)A (dc) | 20 … 28 |
| 输出信号模拟 | ||
| 输出信号 | V | 0 … 10.3 |
| 测量范围输出 | V | 0.774 … 10.3 |
| 电压与压强之间的关系 | volts per decade | 0.75 |
| 错误信号 | V | 0.3 / 0.5 |
| 最小负载 | kΩ | 10 |
| 接口（数字）(2) | RS232C | |
| 连接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
| 电缆长度， (3) | m (ft.) | 100 (330) |
| 暴露于真空的材料 | Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass | |
| 内部容积 KF / CF | cm³ (in.³) | 24 (1.46) / 34 (2.1) |
| 重量 KF / CF | g | 285 / 550 |
| 保护等级 | IP30 | |
| DeviceNet™ | ||
| 协议 | DeviceNet™, group 2 slave only | |
| 数据率开关 | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable |
| 电缆长度 125 kbps | m (ft.) | 500 (1650) |
| 电缆长度 250 kbps | m (ft.) | 250 (825) |
| 电缆长度 500 kbps | m (ft.) | 100 (330) |
| MAC ID | 2 switches (address 00 - 63) or network programmable | |
| 网络规模 | up to 64 nodes per segment | |
| 数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
| 模拟功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
| 可视通信指示器 | LED network status (green / red) ; LED module status (green / red) | |
| 技术规格 | DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" | |
| 设备类型 | ''CG'' for combination gauge | |
| I / O 从属传讯 | polling only | |
| 设定点继电器： 设定点数量 | 2 | |
| 设定点继电器： 范围 | mbar | 1×10-9 … 1400 |
| 设定点继电器： 继电器触点 | n.o., potential free | |
| 设定点继电器： 滞后 | % of reading | 10 |
| 设定点继电器： 触点额定值 | V (dc)A (dc) | 60 |
| 设定点继电器： 连接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
| DeviceNet™ 电源电压 | V (dc)A (dc) | 11 … 25 |
| 真空计电源电压 | V (dc)A (dc) | 20 … 28 |
| DeviceNet™ 连接器 | Microstyle, 5-pin | |
| BCG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
| Profibus DP | ||
| 波特率 | kBaudMbaud | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 |
| 地址 | 2 switches (address 00 - 127) or network programmable | |
| 数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
| 模拟功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
| 设定点继电器： 设定点数量 | 2 | |
| 设定点继电器： 范围 | mbar | 1×10-9 … 1400 |
| 设定点继电器： 继电器触点 | n.o., potential free | |
| 设定点继电器： 滞后 | % of reading | 10 |
| 设定点继电器： 触点额定值 | V (dc)A (dc) | 60 |
| Profibus DP 连接器 | D-Sub, 9-pin, female | |
| BCG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
| 以太网 | ||
| 以太网协议 | protocol specialized for EtherCAT | |
| 通讯标准 | ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" | |
| 节点地址 | Explicit Device Identification | |
| 物理层 | 100BASE-Tx (IEEE 802.3) | |
| 以太网数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information | |
| 过程数据 | Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping | |
| 邮箱 (CoE) | SDO requests, responses and information | |
| 以太网连接件 | RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT | |
| 电缆 | shielded Ethernet CAT5e or higher | |
| 电缆长度 | m (ft.) | ≤100 (330) |
(1) 除气期间降低精度
(2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器，不允许使用现场总线
(3) 适用于 RS232C 运行 <30m
