概况:
锦正茂JZM-D30室温探针台的诸多设计都是专用的,探针台的配置主要是根据用户的需求进行选配及设计。例如,要求的磁场型号,电源型号,磁场值,样品台的尺寸等,除此之外,该探针台和我司自主研发的高精度双极性恒流电源搭配使用,可以提高磁场的高稳定性。因此,该类型的探针台主要依据客户的使用情况进行设计优化。
技术参数:
①磁场型号:EM3加长版
②电源型号:JP10-40,优于50ppm
③磁场值:>1000Gs@60mm间距
④磁场分辨率:优于0.1Gs
⑤三维探针座:高精度三维探针座4个
⑥载物台直径:30mm
⑦Y轴位移-15mm至200mm,精度优于10微米
⑧X轴位移±15mm,精度优于10微米
⑨Z轴行程10mm,精度优于20微米
⑩R轴旋转:360度粗调,±5°范围内精调,精调精度10'
⑪显微镜:体视显微镜,变倍范围优于10-150倍。
⑫机械加工精度优于10微米。
探针台选型注意事项
※*大需要测几inch的晶圆或者器件?是否需要测试破片或者单颗芯片,*小的单颗芯片尺寸?
※探针台机械精度要求多高?
※点测样品的电极尺寸?100μm *100μm或60μm *60μm的pad,还是FIB制作的mini pad,或者ic内部的metal线路?
※*多需要几个探针同时去点测?
※是否会用到探针卡测试?
※光学显微镜的*小分辨率需要用到多少?
※显微镜方面,是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测?
※探针点测时,对电流的要**否达到100fa或者以下?低电容要**否要做到0.1pf?是否有射频需求?
※接驳的测试仪器接口有哪些?
※测试环境时是否会需要加热或者降温? 是否需要密闭腔体?
※对chuck的漏电要求怎样?是否需要添加低阻抗chuck?
※是否需要防震桌?
※若添置防震桌,是否有压缩空气?