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JSM-IT800 热场发射扫描电子显微镜 JSM-IT800具备高分辨观察和高速元素面分析，能够满足客户的各种需求。该装置配备浸没式肖特基场发射电子枪、新一代电子光学控制系统Neo Engine、一体化EDS、易用的操作导航SEM Center、及可置换的物镜模块。
主要参数
JSM-IT800 SHLversion | JSM-IT800 HLversion | |
分辨率 (1 kV) | 0.7nm | 1.3nm |
分辨率 (15 kV) | 0.5nm | - |
分辨率 (20 kV) | - | 0.7nm |
加速电压 | 0.01 - 30 kV | |
检测器 | 二次电子检测器（SED） | 二次电子检测器（SED） |
高位混合检测器（UHD） | 高位电子检测器（UED） | |
电子枪 | 浸没式schott-plus场发射电子枪 | |
入射电流 | 数 pA - 500 nA (30 kV) | 数 pA - 300 nA (30 kV) |
数 pA - 100 nA (5 kV) | 数 pA - 100 nA (5 kV) | |
物镜 | 超级混合物镜SHL | 混合物镜HL |
样品台 | 全对中马达驱动样品台 | |
样品台行程 | X: 70 mm， Y: 50 mm， Z: 2～41 mm，倾斜：-5～70o， 旋转：360o | |
EDS能谱仪 | 能量分辨率133eV以下， 检测元素B-U， 60mm2大面积检测器 | |
主要的选配件
高位电子检测器 (UED)
背散射电子检测器 (BED)
闪烁体背散射电子检测器（SBED)
多用途背散射电子检测器（VBED)
透射电子检测器（TED)
低真空 （含低真空背散射电子检测器LVBED)
低真空二次电子检测器 (LVSED)
电子背散射衍射 (EBSD)
波谱仪 (WDS)
软X射线分光器 (SXES)
探针电流检测器
样品台导航系统
样品室相机
操作桌
操作面板
LIVE-AI过滤器ー
SMILE VIEW™ Map
