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RTP-3-01 RTP快速退火炉 嘉仪通晶圆真空高温退火设备

参考价订货量

239000 228000 210000

1-2件3-4件≥5件

具体成交价以合同协议为准
  • 型号RTP-3-01
  • 品牌其他品牌
  • 所在地武汉市
  • 更新时间2023-06-15
  • 厂商性质生产厂家
  • 所在地区武汉市
  • 实名认证已认证
  • 产品数量11
  • 人气值211
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武汉嘉仪通科技有限公司成立于2009年,是以薄膜物性测量仪器作为战略定位,技术自主创新的国家新技术企业。公司集快速退火炉,霍尔效应测试,RTP,RTA,RTO,热电参数测试,Seebeck系数测试,电导率测试,热导率测试,相变温度分析,液氮低温恒温器等物性检测仪器和半导体工艺设备的研发、市场和技术服务于一体,且相继被评为湖北省“百人计划”及武汉市政府“城市合伙人”企业。


  武汉嘉仪通科技有限公司始终坚持自主研发与应用创新,拥有自己的技术工程师研发团队,建有省级工程实验室、新型研发机构以及市级企业技术中心平台,拥有知识产权100多项,主持承担参与了10余项国家科技攻关项目。2020 年,公司研发的“薄膜材料热特性测试技术及仪器”技术与产品荣获了“湖北省技术发明一等奖”。核心序列产品广泛应用于大专院校、科研院所、第三方检测机构和工业企业等细分领域,并服务于国内近500家客户。除此之外,核心产品还远销美国、英国、日本、澳大利亚、以色列、香港、澳门、中国台湾等20多个国家和地区,实实在在为新材料的科研和生产创造了价值。未来,公司依托省级科研共享平台的大数据分析,为世界各国用户的薄膜技术研究及战略方向提供理论依据与数据支撑。 


  武汉嘉仪通科技有限公司秉承技术创新、应用为上的行动准则,遵循“专注、创新、成长、勤勉”的核心价值理念,认真做好每一款产品,为客户提供合适的产品与优质的服务。最终实现公司愿景:和员工一起成长为薄膜(热)测量领域的先锋!

 

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产地国产 加工定制 控温方式PID
RTP快速退火炉 嘉仪通晶圆真空高温退火设备,可以用于金属电极合金化、硬质合金薄膜去应力退火、石墨烯生长、器件退火RTP、材料再结晶、晶化、热氧化RTO、热氮化RTN、ITO膜致密化、应用于超净间、薄膜CVD生长、搭载电学测试模块变温电阻测量、等离子注入/接触退火、太阳能电池片键合、低介电材料热处理。
RTP快速退火炉 嘉仪通晶圆真空高温退火设备 产品详情

RTP快速退火炉 嘉仪通晶圆真空高温退火设备,可以用于金属电极合金化、硬质合金薄膜去应力退火、石墨烯生长、器件退火RTP、材料再结晶、晶化、热氧化RTO、热氮化RTN、ITO膜致密化、应用于超净间、薄膜CVD生长、搭载电学测试模块变温电阻测量、等离子注入/接触退火、太阳能电池片键合、低介电材料热处理。

产品技术参数



型号RTP-3-01系列
温度1200℃
升温速率50℃/s
温度均匀性≦1%设定温度
温度控制选用工业级温控器,控温精度±0.1℃
温度传感器标准K型热电偶
降温速率

1200℃→400℃,200℃/min

400℃→100℃,20℃/min

(自然冷却)

样品尺寸W20 x L20 x T2 (mm)
主机尺寸W420X L320X H220 (mm)
主机重量20.5kg







RTP快速退火炉 嘉仪通晶圆真空高温退火设备 产品特点:


快速加热和降温可控升温速率可达50 ℃/s,特定条件下可以达到100 ℃/s。冷壁水冷设计能够达到较大的降温速率,特定条件下可达30 ℃/s。

精确控温: 采用工业级温控器进行PID精确控温,目标温度与设定温度曲线一致性高,可实现室温至1200 ℃的温度精确控制。

适应多种工艺环境: 满足多种工艺气氛下的热处理(氮气、氩气等)。同时,通过选配真空泵,可以在真空条件下进行退火,真空度可达10-3Pa。

配备观察窗口: 通过观察窗口,可以实时观察热处理过程中的样品变化。同时,可以结合相关测试方法进行原位测试分析。

高安全系数: 采用炉壁超温报警系统和冷却水流量报警系统,多方位保障仪器使用安全。

国产退火炉:拥有自主研发技术和制造能力,能快速反应客户售后需求



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